Sistèm kote yo pote lè granit yo lajman itilize nanultra-presizyonplatfòm mouvman pou fabrikasyon semi-kondiktè, aliyman optik, ak metroloji nanomèt.
Sistèm sa yo elimine kontak mekanik lè yo itilize yon fim lè anba presyon mens, sa ki reyalize yon mouvman friksyon prèske zewo.
Prensip kote yo pote lè a
Kousinen lè yo fonksyone lè yo entwodui lè konprese ant de sifas, sa ki fòme yon fim lè 2-20 μm.
Sa elimine:
- Friksyon mekanik
- Mete
- Konpòtman baton-glise
Sistèm nan depann sou dinamik fim likid ak yon koule laminè ki estab.
Wòl Granite
Granit bay:
- Estabilite estriktirèl
- Sipresyon flote tèmik
- Amòtisman Vibration
Li sèvi kòm baz referans mekanik pou sistèm mouvman an.
Konpozan Sistèm yo
- Baz granit
- Kousen pou lè
- Sistèm ekipman pou lè a
- Enkodè presizyon
- Sistèm kontwòl mouvman
Karakteristik pèfòmans
Pèfòmans tipik la gen ladan:
- Presizyon pozisyonman sub-mikron
- Segondè dwat sou vwayaj long
- Zewo bak mekanik
Sous erè kle yo enkli enstabilite presyon lè a, derive tèmik, ak erè encoder.
Aplikasyon yo
- Enspeksyon wafer semi-kondiktè
- Sistèm litografi
- Platfòm aliyman optik
- Machin metroloji wo nivo
FAQ
Èske kousinen lè yo ize?
Pa gen kontak mekanik ki elimine mete.
Poukisa itilize granit?
Pou estabilite ak pou diminye vibrasyon.
Ki sa ki limite presizyon?
Estabilite lè ak efè tèmik.
Èske yo ka pote chay lou?
Wi, sa depann de konsepsyon an.
Lè piblikasyon an: 3 Jiyè 2026