Nan lyen kle fabrikasyon chip la - eskanè wafer, presizyon ekipman an detèmine kalite chip la. Kòm yon eleman enpòtan nan ekipman an, pwoblèm ekspansyon tèmik baz machin granit la te atire anpil atansyon.
Koyefisyan ekspansyon tèmik granit la anjeneral ant 4 ak 8 × 10⁻⁶/℃, ki pi ba anpil pase sa ki nan metal ak mab. Sa vle di ke lè tanperati a chanje, gwosè li chanje relativman ti kras. Sepandan, li enpòtan pou note ke yon ekspansyon tèmik ki ba pa vle di pa gen okenn ekspansyon tèmik. Anba gwo chanjman tanperati, menm yon ti ekspansyon ka afekte presizyon eskanè waf la nan yon nivo nanometrik.
Pandan pwosesis eskanè wafer la, gen plizyè rezon ki ka lakòz ekspansyon tèmik. Chanjman tanperati nan atelye a, chalè ki pwodui pa operasyon konpozan ekipman yo, ak tanperati ki wo enstantane ki koze pa pwosesis lazè a, tout bagay sa yo pral lakòz baz granit la "elaji ak kontra akòz chanjman tanperati". Yon fwa baz la sibi ekspansyon tèmik, dwatès ray gid la ak platès platfòm la ka devye, sa ki lakòz yon trajektwa mouvman tab wafer la ki pa egzak. Konpozan optik sipò yo ap deplase tou, sa ki lakòz reyon eskanè a "devye". Travay kontinyèl pou yon bon bout tan ap akimile erè tou, sa ki fè presizyon an vin pi mal.
Men pa enkyete w. Moun yo deja gen solisyon. An tèm de materyèl, yo pral chwazi venn granit ki gen yon koyefisyan ekspansyon tèmik ki pi ba epi sibi tretman pou vyeyisman. An tèm de kontwòl tanperati, yo kontwole tanperati atelye a avèk presizyon a 23±0.5℃ oswa menm pi ba, epi yo pral desine tou yon aparèy disipasyon chalè aktif pou baz la. An tèm de konsepsyon estriktirèl, yo adopte estrikti simetrik ak sipò fleksib, epi yo fè siveyans an tan reyèl atravè detèktè tanperati. Erè ki koze pa defòmasyon tèmik yo korije dinamikman pa algoritm.
Ekipman wo nivo tankou machin litografi ASML yo, atravè metòd sa yo, kenbe efè ekspansyon tèmik baz granit la nan yon seri trè piti, sa ki pèmèt presizyon eskanè wafer la rive nan nivo nanomèt. Se poutèt sa, toutotan li byen kontwole, baz granit la rete yon chwa serye pou ekipman eskanè wafer.
Lè pòs la: 12 jen 2025