Granit se yon materyèl popilè nan endistri pwosesis wafer la akòz pwopriyete mekanik eksepsyonèl li yo ak rezistans li. Li se yon wòch natirèl yo ekstrè nan karyè toupatou nan mond lan epi yo te itilize li pandan plizyè syèk pou divès rezon konstriksyon, tankou fabrikasyon ekipman semi-kondiktè. Nan atik sa a, nou pral diskite sou pwopriyete granit ak divès aplikasyon li yo nan ekipman pwosesis wafer.
Pwopriyete Granite
Granit se yon wòch igne ki konpoze de mika, fèlspa, ak kwats. Li rekonèt pou fòs eksepsyonèl li, dite li, ak rezistans li, sa ki fè li yon materyèl ideyal pou aplikasyon ki mande anpil presizyon ak egzaktitid. Granit gen yon koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba, sa vle di li pa elaji oswa kontra akòz chanjman tanperati, sa ki fè li trè estab. Anplis de sa, granit rezistan a korozyon ak pwodui chimik, sa ki fè li yon materyèl ideyal pou itilize nan anviwònman difisil.
Aplikasyon Granite nan Ekipman Pwosesis Wafer
Granit se yon materyèl ki lajman itilize nan endistri pwosesis waf yo akòz konbinezon inik pwopriyete li yo. Men kèk nan aplikasyon granit nan ekipman pwosesis waf yo:
1. Zouti Metroloji
Granit souvan itilize nan fabrikasyon zouti metroloji, tankou machin mezi kowòdone (CMM) ak sistèm mezi optik. Zouti sa yo bezwen sifas ki estab ki ka reziste vibrasyon ak chalè. Gwo rèd ak ti ekspansyon tèmik granit la fè li yon materyèl ideyal pou aplikasyon sa yo.
2. Mandrin wafè
Mandrin wafer yo itilize pou kenbe wafer yo pandan pwosesis fabrikasyon an. Mandrin sa yo bezwen yon sifas plat ki estab pou anpeche wafer la defòme oswa pliye. Granite bay yon sifas plat ki trè estab e ki reziste defòmasyon, sa ki fè li yon ekselan materyèl pou mandrin wafer yo.
3. Zouti pou polisaj chimik mekanik (CMP)
Zouti CMP yo itilize pou poli waf yo pandan pwosesis fabrikasyon an. Zouti sa yo bezwen yon platfòm ki estab ki ka reziste vibrasyon ak chalè. Ekselan rijidite ak ti ekspansyon tèmik granit la fè li yon materyèl ideyal pou zouti CMP yo.
4. Ekipman Enspeksyon Wafer
Ekipman enspeksyon wafer yo itilize pou enspekte wafer yo pou domaj ak defo. Zouti sa yo bezwen yon sifas ki estab e plat pou asire mezi egzat. Granite bay yon sifas ki estab e plat ki reziste deformation, sa ki fè li yon materyèl ideyal pou ekipman enspeksyon wafer.
Konklizyon
An konklizyon, granit se yon materyèl ki lajman itilize nan endistri pwosesis wafer la akòz pwopriyete mekanik eksepsyonèl li yo ak rezistans li. Li souvan itilize nan fabrikasyon zouti metroloji, mandrin wafer, zouti CMP, ak ekipman enspeksyon wafer. Konbinezon inik pwopriyete sa yo fè li yon materyèl ideyal pou aplikasyon ki mande anpil presizyon ak egzaktitid. Avèk anpil avantaj li yo, granit rete yon chwa popilè pou ekipman pwosesis wafer, epi itilizasyon li gen chans pou kontinye grandi nan lavni.
Dat piblikasyon: 27 Desanm 2023