Granit te yon materyèl souvan itilize nan endistri semi-kondiktè pou ekselan pwopriyete mekanik li yo, estabilite tèmik li, ak koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba. Sepandan, ak demann k ap ogmante san rete pou pi gwo presizyon ak pwodiktivite, materyèl altènatif yo te parèt kòm opsyon solid pou fabrikasyon konpozan ekipman semi-kondiktè. Nan atik sa a, nou pral eksplore kèk nan materyèl altènatif pou pati granit nan ekipman semi-kondiktè epi konpare avantaj ak dezavantaj yo.
Materyèl Altènatif pou Pati Granite
1. Materyèl vè-seramik
Materyèl vè-seramik, tankou Zerodur ak Cervit, yo vin lajman itilize nan endistri semi-kondiktè yo akòz koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba yo, ki prèske menm jan ak silikon an. Kidonk, materyèl sa yo ka bay pi bon estabilite tèmik ak plis presizyon nan pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè yo. Zerodur, an patikilye, gen yon wo degre omojènite ak estabilite, sa ki fè li apwopriye pou fabrikasyon ekipman litografi.
Avantaj:
- Ba koyefisyan ekspansyon tèmik
- Segondè presizyon ak estabilite
- Apwopriye pou aplikasyon pou tanperati ki wo
Dezavantaj:
- Pri ki pi wo konpare ak granit
- Relativman frajil, ka poze pwoblèm nan machinasyon ak manyen
2. Seramik
Materyèl seramik, tankou oksid aliminyòm (Al2O3), carbure Silisyòm (SiC), ak nitrid Silisyòm (Si3N4), gen ekselan pwopriyete mekanik, rezistans tanperati ki wo, ak koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba. Pwopriyete sa yo fè seramik yo ideyal pou pati ekipman semi-kondiktè ki mande gwo estabilite tèmik ak presizyon, tankou etap waf ak mandrin.
Avantaj:
- Segondè estabilite tèmik ak fòs
- Koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba
- Segondè rezistans mete ak inerti chimik
Dezavantaj:
- Ka frajil epi gen tandans pou fann, sitou pandan machinasyon ak manyen
- Machinasyon ak polisaj seramik yo kapab difisil epi pran anpil tan
3. Metal yo
Materyèl ki baze sou metal, tankou asye pur ak Titàn, yo te itilize pou kèk pyès ekipman semi-kondiktè akòz ekselan machinabilite yo ak gwo rezistans yo. Yo souvan itilize nan aplikasyon kote yo pa bezwen gwo estabilite tèmik, tankou pyès chanm, kouplaj, ak pasaj.
Avantaj:
- Bon machinabilite ak soudabilite
- Segondè fòs ak duktilité
- Pri ki ba konpare ak kèk nan materyèl altènatif yo
Dezavantaj:
- Segondè koyefisyan ekspansyon tèmik
- Pa apwopriye pou aplikasyon ki gen gwo tanperati akòz pwoblèm ekspansyon tèmik
- Sibsèp a korozyon ak kontaminasyon
Konklizyon:
An rezime, pandan granit te yon chwa popilè pou pyès ekipman semi-kondiktè, gen lòt materyèl ki parèt, chak ak avantaj ak dezavantaj inik. Materyèl vè-seramik yo trè presi epi yo estab men yo ka frajil. Seramik yo solid epi yo gen yon ekselan estabilite tèmik men yo kapab frajil tou, sa ki fè yo pi difisil pou fabrike. Metal yo pa chè, yo fasil pou fabrike, epi yo duktil, men yo gen yon koyefisyan ekspansyon tèmik ki pi wo epi yo sansib a korozyon ak kontaminasyon. Lè w ap chwazi materyèl pou ekipman semi-kondiktè, li enpòtan pou konsidere egzijans espesifik aplikasyon an epi chwazi materyèl ki balanse pri, pèfòmans ak fyab.
Lè pòs la: 19 Mas 2024