Granite te yon materyèl souvan itilize nan endistri semi-conducteurs pou ekselan pwopriyete mekanik li yo, estabilite tèmik, ak ba koyefisyan ekspansyon tèmik.Sepandan, ak demann ki pi fò toujou pou pi wo presizyon ak pwodiktivite, materyèl altènatif yo te parèt kòm opsyon solid pou fabwikasyon konpozan ekipman semi-conducteurs.Nan atik sa a, nou pral eksplore kèk nan materyèl altènatif pou pati granit nan ekipman semi-conducteurs epi konpare avantaj ak dezavantaj yo.
Materyèl altènatif pou pati Granite
1. Materyèl vè-seramik
Materyèl vè-seramik, tankou Zerodur ak Cervit, te jwenn itilizasyon toupatou nan endistri semi-conducteurs akòz koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba yo, ki se tou pre sa yo ki nan Silisyòm.Kontinwe, materyèl sa yo ka bay pi bon estabilite tèmik ak amelyore presizyon nan pwosesis la fabrikasyon semi-conducteurs.Zerodur, an patikilye, gen yon wo degre de omojèn ak estabilite, ki fè li apwopriye pou fabrikasyon ekipman litografi.
Avantaj:
- Ba koyefisyan ekspansyon tèmik
- Segondè presizyon ak estabilite
- Apwopriye pou aplikasyon pou wo-tanperati
Dezavantaj:
- Pi wo pri konpare ak granit
- Relativman frajil, ka poze defi nan D ak manyen
2. Seramik
Materyèl seramik, tankou oksid aliminyòm (Al2O3), carbure Silisyòm (SiC), ak nitrure Silisyòm (Si3N4), gen ekselan pwopriyete mekanik, rezistans wo-tanperati, ak ba koyefisyan ekspansyon tèmik.Pwopriyete sa yo fè seramik ideyal pou pati ekipman semi-conducteurs ki mande gwo estabilite tèmik ak presizyon, tankou etap wafer ak mandrin.
Avantaj:
- Segondè estabilite tèmik ak fòs
- Ba koyefisyan ekspansyon tèmik
- Segondè rezistans mete ak inertness chimik
Dezavantaj:
- Kapab frajil ak tandans fè fann, espesyalman pandan machin ak manyen
- Machin ak polisaj seramik yo ka difisil ak pran tan
3. Metal yo
Materyèl ki baze sou metal, tankou asye pur ak Titàn, yo te itilize pou kèk pati ekipman semi-conducteurs akòz machinabilite ekselan yo ak gwo fòs.Yo souvan itilize nan aplikasyon kote gwo estabilite tèmik pa obligatwa, tankou pati chanm, kouple, ak feedthroughs.
Avantaj:
- Bon machinability ak soudabilite
- Segondè fòs ak duktilite
- Pri ki ba konpare ak kèk nan materyèl altènatif yo
Dezavantaj:
- Segondè koyefisyan ekspansyon tèmik
- Pa apwopriye pou aplikasyon pou wo-tanperati akòz pwoblèm ekspansyon tèmik
- Sensib a korozyon ak kontaminasyon
Konklizyon:
An rezime, pandan ke granit te yon chwa popilè pou pati ekipman semi-conducteurs, materyèl altènatif te parèt, yo chak ak avantaj inik ak dezavantaj.Materyèl vè-seramik yo trè presi ak ki estab men yo ka frajil.Seramik yo fò epi yo gen ekselan estabilite tèmik men yo ka frajil tou, sa ki fè yo pi difisil pou fabrike.Metal yo pa chè, machinable, ak duktil, men yo gen yon pi wo koyefisyan ekspansyon tèmik epi yo sansib a korozyon ak kontaminasyon.Lè w ap chwazi materyèl pou ekipman semi-conducteurs, li enpòtan pou konsidere kondisyon espesifik aplikasyon an epi chwazi materyèl ki balanse pri, pèfòmans ak fyab.
Tan pòs: Mar-19-2024