Nan domèn fabrikasyon semi-kondiktè, presizyon ekipman enspeksyon wafer la detèmine dirèkteman kalite ak rannman chip yo. Kòm fondasyon ki sipòte konpozan deteksyon debaz yo, estabilite dimansyonèl materyèl baz ekipman an jwe yon wòl enpòtan nan pèfòmans operasyonèl alontèm ekipman an. Granit ak fè fonn se de materyèl baz ki souvan itilize pou ekipman enspeksyon wafer. Yon etid konparatif 10 ane te revele diferans enpòtan ki genyen ant yo an tèm de estabilite dimansyonèl, sa ki bay referans enpòtan pou seleksyon ekipman.
Kontèks ak Konsepsyon Eksperimantal
Pwosesis pwodiksyon wafer semi-kondiktè yo gen egzijans ki trè wo an tèm de presizyon deteksyon. Menm yon devyasyon dimansyonèl nan nivo mikwomèt ka mennen nan yon bès nan pèfòmans chip la oswa menm nan fatra. Pou eksplore estabilite dimansyonèl granit ak fè fonn pandan itilizasyon alontèm, ekip rechèch la te konsevwa eksperyans ki te simile anviwònman travay reyèl. Echantiyon granit ak fè fonn ki gen menm spesifikasyon an te chwazi epi yo te mete yo nan yon chanm anviwònman kote tanperati a te varye ant 15 ℃ ak 35 ℃ epi imidite a te varye ant 30% ak 70% RH. Vibrasyon mekanik pandan fonksyònman ekipman an te simile atravè yon tablo vibrasyon. Dimansyon kle echantiyon yo te mezire chak trimès lè l sèvi avèk yon entèferomèt lazè ki gen gwo presizyon, epi done yo te anrejistre kontinyèlman pandan 10 ane.
Rezilta eksperimantal: Avantaj absoli granit la
Dis ane done eksperimantal yo montre ke substrat granit la prezante yon estabilite etonan. Koyefisyan ekspansyon tèmik li trè ba, an mwayèn sèlman 4.6 × 10⁻⁶/℃. Anba chanjman tanperati radikal, devyasyon dimansyon an toujou kontwole nan ±0.001mm. Lè gen chanjman imidite, estrikti dans granit la fè li prèske pa afekte, e pa gen okenn chanjman dimansyon mezirab ki rive. Nan yon anviwònman vibrasyon mekanik, karakteristik ekselan amortisman granit la absòbe enèji vibrasyon an efektivman, e varyasyon dimansyon an trè piti.
Okontrè, pou substrat an fè fonn, koyefisyan mwayèn ekspansyon tèmik li rive nan 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, epi devyasyon dimansyon maksimòm ki koze pa chanjman tanperati nan lespas 10 ane se ±0.05mm. Nan yon anviwònman imid, fè fonn gen tandans pou rouye ak korozyon. Gen kèk echantiyon ki montre defòmasyon lokal, epi devyasyon dimansyon an ogmante plis toujou. Anba aksyon vibrasyon mekanik, fè fonn gen yon pèfòmans amortisman vibrasyon ki pòv epi gwosè li varye souvan, sa ki fè li difisil pou satisfè egzijans presizyon enspeksyon wafer yo.
Rezon esansyèl pou diferans nan estabilite
Granit te fòme pandan plizyè santèn milyon ane atravè pwosesis jewolojik. Estrikti entèn li dans e inifòm, epi kristal mineral yo ranje yon fason ki estab, sa ki elimine estrès entèn natirèlman. Sa fè li trè ensansib a chanjman nan faktè ekstèn tankou tanperati, imidite ak vibrasyon. Fè fonn fèt pa pwosesis moulaj epi li gen domaj mikwoskopik tankou porositë ak twou sab anndan. Pandansetan, estrès rezidyèl ki pwodui pandan pwosesis moulaj la gen tandans lakòz chanjman dimansyon anba eksitasyon anviwònman ekstèn lan. Pwopriyete metalik fè fonn fè li gen tandans pou wouye akòz imidite, sa ki akselere domaj estriktirèl epi diminye estabilite dimansyon.
Enpak sou ekipman enspeksyon wafer yo
Ekipman enspeksyon wafer ki baze sou substrat granit, ak pèfòmans dimansyonèl ki estab li, ka asire ke sistèm enspeksyon an kenbe yon gwo presizyon pou yon tan long, diminye move jijman ak deteksyon rate ki koze pa derive presizyon ekipman an, epi amelyore anpil rannman pwodwi a. Pandansetan, kondisyon antretyen ki ba yo diminye pri sik lavi konplè ekipman an. Ekipman ki itilize substrat fè fonn, akòz estabilite dimansyonèl ki pòv, mande pou kalibrasyon ak antretyen souvan. Sa pa sèlman ogmante depans fonksyònman men tou li ka afekte kalite pwodiksyon semi-kondiktè akòz presizyon ensifizan, sa ki ka lakòz pèt ekonomik potansyèl.
Nan tandans endistri semi-kondiktè a kote yo ap chèche pi gwo presizyon ak pi bon kalite, chwazi granit kòm materyèl baz pou ekipman enspeksyon wafer se san dout yon bon lide pou asire pèfòmans ekipman yo epi amelyore compétitivité antrepriz yo.
Dat piblikasyon: 14 Me 2025