Nan domèn fabrikasyon wo nivo ak rechèch syantifik dènye kri, platfòm mouvman flotan lè presyon estatik presizyon an se ekipman kle pou reyalize operasyon ultra-presizyon. Baz presizyon granit la se pati sipò santral platfòm la, epi pèfòmans li gen yon relasyon sere avèk anviwònman travay la. Konprann ak satisfè egzijans anviwònman sa yo pa sèlman ka asire operasyon wo-presizyon platfòm la, men tou yon pati enpòtan nan antrepriz la pou amelyore compétitivité li nan domèn ki gen rapò, ki dekri an detay anba a.
1. Tanperati: kontwòl presi pou asire estabilite dimansyonèl
Malgre ke granit li te ye pou estabilite li, koyefisyan ekspansyon tèmik li pa zewo, epi ti chanjman tanperati yo ka toujou afekte presizyon dimansyon li. Anjeneral, koyefisyan ekspansyon tèmik granit la se 5-7 ×10⁻⁶/℃. Nan senaryo aplikasyon platfòm mouvman flotan presyon estatik presizyon lè a, ti chanjman sa a anplifye pa platfòm la, sa ki ka mennen nan devyasyon presizyon mouvman an. Pa egzanp, nan pwosesis fabrikasyon chip semi-kondiktè a, pwosesis litografi a pou egzijans presizyon pozisyon nan nivo danami, varyasyon tanperati anbyen 1 ° C, longè bò baz granit 1 mèt la ka pwodui 5-7 mikron ekspansyon lineyè oswa kontraksyon, ki ase pou fè devyasyon modèl litografi chip la, diminye sede a. Se poutèt sa, platfòm flotan presyon estatik presizyon lè a ekipe ak baz presizyon granit, tanperati anviwònman travay ideyal la ta dwe kontwole estrikteman a 20 ° C ± 1 ° C, antrepriz yo ka enstale sistèm èkondisyone tanperati konstan wo presizyon, kontwole kontinyèlman epi ajiste tanperati anbyen an avèk presizyon, kenbe estabilite gwosè baz granit la, pou asire ke platfòm la fonksyone wo presizyon.
2.imidite: kontwòl rezonab, pwoteje pèfòmans debaz la
Imidite gen yon efè enpòtan tou sou baz granit presizyon. Nan yon anviwònman ki gen anpil imidite, granit fasil pou absòbe vapè dlo, epi ka gen kondansasyon sou sifas la, ki pa sèlman pral entèfere ak fonksyònman nòmal sistèm flotasyon lè a, men tou, mennen nan ewozyon alontèm nan sifas granit la, diminye presizyon ak lavi sèvis li. Si nou pran atelye fanm lantiy optik la kòm egzanp, si imidite a pi wo pase 60% RH pandan yon bon bout tan, vapè dlo ki absòbe sou sifas baz granit la pral detwi inifòmite fim flotasyon lè a, sa ki lakòz yon diminisyon nan presizyon fanm lantiy la ak domaj sifas. Se poutèt sa, imidite relatif anviwònman travay la bezwen kontwole ant 40%-60% RH. Antrepriz yo ka itilize dezumidifikatè, detèktè imidite ak lòt ekipman pou siveye ak kontwole imidite a an tan reyèl, kreye yon anviwònman imidite apwopriye pou baz granit presizyon an, epi asire fonksyònman ki estab nan platfòm mouvman flotasyon lè presyon estatik presizyon an.
3. pwòpte: kontwole estrikteman, elimine entèferans patikil
Patikil pousyè yo se "lènmi" platfòm mouvman lè estatik presyon presizyon k ap flote a, epi yo fè anpil domaj nan baz presizyon granit la. Yon fwa ti patikil yo antre nan espas fim gaz la ant glisè flote gaz la ak baz granit la, yo ka detwi inifòmite fim gaz la, ogmante friksyon, e menm grate sifas baz la, sa ki afekte seryezman presizyon mouvman platfòm la. Nan atelye machinasyon ultra-presizyon pyès ayewospasyal yo, si patikil pousyè ki nan lè a tonbe sou baz granit la, trajektwa mouvman zouti machinasyon an ka devye, sa ki afekte presizyon machinasyon pyès yo. Se poutèt sa, zòn travay la ta dwe rete trè pwòp epi rive nan yon estanda pwòpte 10,000 oswa menm pi wo. Antrepriz yo ka filtre patikil pousyè ki nan lè a lè yo enstale filtè lè efikasite segondè (HEPA), epi mande anplwaye yo pou yo mete rad ki pa gen pousyè, kouvri soulye, elatriye, pou diminye pousyè moun pote a, epi kenbe anviwònman operasyon wo presizyon baz granit la ak platfòm mouvman lè estatik presyon presizyon k ap flote a.
4. Vibrasyon: Izolasyon efikas pou kreye yon espas lis
Vibrasyon ekstèn pral seryezman entèfere ak presizyon platfòm presyon estatik flotan lè a. Malgre baz granit presizyon an gen yon sèten kapasite pou diminye vibrasyon, vibrasyon ki gen gwo fòs la ka toujou kraze limit tanpon li. Vibrasyon ki pwodui pa trafik ki antoure faktori a ak operasyon gwo ekipman mekanik yo transmèt nan baz granit la atravè tè a, sa ki pral entèfere ak presizyon mouvman platfòm lan. Nan CMM wo nivo, vibrasyon ka lakòz kontak ant sond mezi a ak pyès ki dwe mezire a vin enstab, sa ki lakòz devyasyon done mezi yo. Pou rezoud pwoblèm sa a, li nesesè pou adopte mezi izolasyon vibrasyon efikas, tankou mete kousinen izolasyon vibrasyon nan zòn enstalasyon ekipman an, bati fondasyon izolasyon vibrasyon, oswa itilize yon sistèm izolasyon vibrasyon aktif pou konpanse vibrasyon ekstèn aktivman, epi kreye yon anviwònman travay trankil ak ki estab pou baz granit presizyon an ak platfòm mouvman presyon estatik flotan lè a.
Satisfè egzijans anviwònman ki anwo yo, pou kapab byen pwofite avantaj baz presizyon granit nan platfòm mouvman flotan presyon estatik presizyon lè a, pou asire ke platfòm nan bay sèvis kontwòl mouvman ki gen gwo presizyon ak gwo estabilite pou divès endistri yo. Si antrepriz yo ka peye atansyon sou detay sa yo nan anviwònman pwodiksyon an, y ap sezi opòtinite nan fabrikasyon presizyon, rechèch syantifik ak lòt domèn, amelyore compétitivité yo, epi reyalize devlopman dirab.
Dat piblikasyon: 10 avril 2025