Nan pwosesis endistri semi-kondiktè a k ap deplase nan direksyon pwosesis fabrikasyon nanoskal, koupe wafer, kòm yon lyen kle nan fabrikasyon chip, gen egzijans trè strik pou estabilite ekipman yo. Baz granit la, ak rezistans eksepsyonèl li nan vibrasyon ak estabilite tèmik, te vin tounen yon eleman santral nan ekipman koupe wafer, bay yon garanti serye pou reyalize pwosesis wafer ki gen gwo presizyon ak gwo efikasite.
Karakteristik amortisman ak anti-vibrasyon ki wo: Pwoteje presizyon koupe nan nivo nano
Lè ekipman koupe wafer la ap fonksyone, wotasyon rapid file koton an, vibrasyon wo frekans zouti koupe a, ak vibrasyon anviwònman an ki pwodui pa ekipman ki antoure a, tout bagay sa yo ap gen yon enpak siyifikatif sou presizyon koupe a. Pèfòmans amortisman baz metal tradisyonèl yo limite, sa ki fè li difisil pou diminye vibrasyon rapidman, sa ki mennen nan jitter nan nivo mikron nan zouti koupe yo epi ki lakòz dirèkteman domaj tankou kwen fann ak fant sou wafer yo. Karakteristik amortisman segondè baz granit la rezoud pwoblèm sa a fondamantalman.
Kristal mineral entèn granit yo byen mele, sa ki fòme yon estrikti natirèl pou disipasyon enèji. Lè vibrasyon an transmèt nan baz la, mikwoestrikti entèn li ka byen vit konvèti enèji vibrasyon an an enèji tèmik, sa ki pèmèt yon atenyasyon vibrasyon efikas. Done eksperimantal yo montre ke anba menm anviwònman vibrasyon an, baz granit la ka diminye anplitid vibrasyon an plis pase 90% nan 0.5 segonn, alòske baz metal la bezwen 3 a 5 segonn. Pèfòmans eksepsyonèl amortisman sa a asire ke zouti koupe a rete estab pandan pwosesis koupe nanoechèl la, sa ki garanti yon kwen lis nan koupe wafer la epi efektivman diminye vitès dechiktaj la. Pa egzanp, nan pwosesis koupe wafer 5nm lan, ekipman ki gen yon baz granit ka kontwole gwosè dechiktaj la nan 10μm, ki plis pase 40% pi wo pase ekipman ki gen yon baz metal.
Koyefisyan ekspansyon tèmik ultra-ba: Rezistan a enfliyans varyasyon tanperati yo
Pandan pwosesis koupe wafer la, chalè ki pwodui pa friksyon zouti koupe yo, disipasyon chalè ki soti nan fonksyònman ekipman an pou yon bon bout tan, ak chanjman nan tanperati anviwònman atelye a, tout bagay sa yo ka lakòz defòmasyon tèmik nan konpozan ekipman yo. Koyefisyan ekspansyon tèmik materyèl metalik yo relativman wo (apeprè 12×10⁻⁶/℃). Lè tanperati a varye pa 5℃, yon baz metal ki gen 1 mèt longè ka sibi yon defòmasyon 60μm, sa ki lakòz pozisyon koupe a deplase epi afekte seryezman presizyon koupe a.
Koyefisyan ekspansyon tèmik baz granit la se sèlman (4-8) ×10⁻⁶/℃, ki mwens pase yon tyè nan koyefisyan materyèl metal yo. Anba menm chanjman tanperati a, chanjman dimansyon li yo ka prèske inyore. Done mezire nan yon sèten antrepriz fabrikasyon semi-kondiktè montre ke pandan yon operasyon koupe wafer wo entansite kontinyèl pandan 8 èdtan, lè tanperati anbyen an varye pa 10 ℃, diferans pozisyon koupe ekipman ki gen yon baz granit mwens pase 20 μm, alòske ekipman ki gen yon baz metal depase 60 μm. Pèfòmans tèmik ki estab sa a asire ke pozisyon relatif ant zouti koupe a ak wafer la rete egzak tout tan. Menm anba operasyon kontinyèl alontèm oswa chanjman radikal nan tanperati anviwònman an, presizyon koupe a ka konsève konsistans.
Rijidite ak rezistans mete: Asire operasyon ki estab alontèm ekipman an
Anplis avantaj rezistans kont vibrasyon ak estabilite tèmik, gwo rijidite ak rezistans kont mete baz granit la amelyore fyab ekipman koupe wafer la. Granit la gen yon dite 6 a 7 sou echèl Mohs la ak yon fòs konpresiv ki depase 120MPa. Li ka reziste gwo presyon ak fòs enpak pandan pwosesis koupe a epi li pa gen tandans pou defòme. Pandansetan, estrikti dans li ba li yon ekselan rezistans kont mete. Menm pandan operasyon koupe souvan, sifas baz la pa gen tandans pou mete, sa ki asire ke ekipman an kenbe yon operasyon presizyon ki wo pou yon tan long.
Nan aplikasyon pratik yo, anpil antrepriz fabrikasyon wafer te amelyore anpil rannman pwodwi ak efikasite pwodiksyon an lè yo adopte ekipman koupe ak baz granit. Done ki soti nan yon fondri ki dirijan mondyal montre ke apre entwodiksyon ekipman ki baze sou granit, rannman koupe wafer la ogmante soti nan 88% pou rive plis pase 95%, sik antretyen ekipman an te pwolonje pa twa fwa, sa ki efektivman diminye depans pwodiksyon yo epi amelyore compétitivité sou mache a.
An konklizyon, baz granit la, ak ekselan rezistans li nan vibrasyon, estabilite tèmik, gwo rijidite ak rezistans nan mete, bay garanti pèfòmans konplè pou ekipman koupe wafer. Ofiramezi teknoloji semi-kondiktè a ap avanse nan direksyon pi gwo presizyon, baz granit yo pral jwe yon wòl pi enpòtan nan domèn fabrikasyon wafer, pou ankouraje devlopman inovatè kontinyèl nan endistri semi-kondiktè a.
Dat piblikasyon: 20 me 2025