Nan endistri semi-kondiktè a, enspeksyon wafer la se yon lyen kle pou asire kalite ak pèfòmans chip la, epi presizyon ak estabilite tab enspeksyon an jwe yon wòl desizif nan rezilta deteksyon yo. Baz granit la ak karakteristik inik li yo, vin chwa ideyal la pou tab enspeksyon wafer semi-kondiktè a, sa ki swiv analiz milti-dimansyonèl la pou ou.
Premyèman, dimansyon garanti presizyon an
1. Planite ak dwat ultra-wo: Baz granit la trete pa teknoloji pwosesis avanse, epi planite a ka rive nan ±0.001mm/m oswa menm pi wo presizyon, epi dwat la tou ekselan. Nan pwosesis enspeksyon wafer la, plan wo presizyon an bay yon sipò ki estab pou wafer la epi asire yon kontak egzat ant sond ekipman enspeksyon an ak jwenti soude yo sou sifas wafer la.
2. Koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba anpil: fabrikasyon semi-kondiktè sansib a chanjman tanperati, epi koyefisyan ekspansyon tèmik granit la ba anpil, anjeneral anviwon 5 × 10⁻⁶/℃. Lè platfòm deteksyon an ap fonksyone, menm si tanperati anbyen an varye, gwosè baz granit la pa chanje anpil. Pa egzanp, nan atelye tanperati ki wo nan sezon lete a, tanperati platfòm deteksyon baz metal komen an ka lakòz pozisyon relatif wafer la ak ekipman deteksyon an deplase, sa ki afekte presizyon deteksyon an; Platfòm deteksyon baz granit la ka kenbe estabilite, asire presizyon pozisyon relatif wafer la ak ekipman deteksyon an pandan pwosesis deteksyon an, epi bay yon anviwònman ki estab pou deteksyon ki gen gwo presizyon.
Dezyèmman, dimansyon estabilite
1. Estrikti ki estab ak rezistans vibrasyon: Apre plizyè milyon ane pwosesis jewolojik, estrikti entèn granit la dans e inifòm. Nan anviwònman konplèks yon faktori semi-kondiktè, vibrasyon ki pwodui pa operasyon ekipman periferik yo ak pèsonèl k ap mache toupatou a efektivman atenye pa baz granit la.
2. Presizyon pou itilizasyon alontèm: konpare ak lòt materyèl yo, granit gen yon dite ki wo, yon gwo rezistans kont mete, epi dite Mohs la ka rive nan 6-7. Sifas baz granit la pa fasil pou chire pandan operasyon chajman, dechajman ak enspeksyon souvan sou wafer yo. Selon itilizasyon estatistik done yo, lè yo itilize yon tab tès baz granit, operasyon kontinyèl apre 5000 èdtan, presizyon plat ak dwat la ka toujou kenbe a plis pase 98% nan presizyon inisyal la, sa ki diminye ekipman an akòz mete baz la ki koze pa kalibrasyon regilye ak tan antretyen, diminye depans fonksyònman biznis la, pou asire estabilite alontèm travay tès la.
Twazyèmman, dimansyon pwòp ak anti-entèferans
1. Pwodiksyon pousyè ki ba: anviwònman fabrikasyon semi-kondiktè a bezwen trè pwòp, epi materyèl granit la li menm dwe estab epi li pa fasil pou pwodui patikil pousyè. Pandan operasyon platfòm tès la, yo evite pousyè ki pwodui pa baz la pou polye wafer la, epi yo diminye risk kous kout ak kous ouvè ki koze pa patikil pousyè yo. Nan zòn enspeksyon wafer atelye san pousyè a, konsantrasyon pousyè ki ozalantou tab enspeksyon baz granit la toujou kontwole nan yon nivo ki ba anpil, pou satisfè egzijans pwòpte strik endistri semi-kondiktè a.
2. Pa gen entèferans mayetik: ekipman deteksyon an sansib a anviwònman elektwomayetik la, epi granit se yon materyèl ki pa mayetik, ki pa pral entèfere ak siyal elektwonik ekipman deteksyon an. Nan itilizasyon deteksyon gwo bout bwa elektwon ak lòt teknoloji tès ki mande yon anviwònman elektwomayetik trè wo, baz granit la asire transmisyon ki estab nan siyal elektwonik ekipman deteksyon an epi asire presizyon rezilta tès yo. Pa egzanp, lè yo teste wafer la pou pèfòmans elektrik ki gen gwo presizyon, baz granit ki pa mayetik la evite entèferans ak siyal kouran ak vòltaj deteksyon yo, pou done deteksyon yo reflete karakteristik elektrik wafer la vreman vre.
Dat piblikasyon: 31 mas 2025