Nan chèn fabrikasyon presi semi-kondiktè a, sistèm transfè wafer la tankou "liy sovtaj liy pwodiksyon chip la", epi estabilite ak presizyon li detèmine dirèkteman to sede chip yo. Nouvo jenerasyon sistèm transfè wafer yo konbine motè lineyè ak baz granit yon fason revolisyonè, epi avantaj inik materyèl granit yo se jisteman kòd prensipal la pou debloke transmisyon pèfòmans segondè.
Baz granit: Bati yon "fondasyon solid tankou wòch" pou yon transmisyon ki estab
Granit, ki sibi plizyè santèn milyon ane rafinman jeyolojik, prezante yon kristalizasyon mineral entèn dans ak inifòm. Karakteristik natirèl sa a fè li yon materyèl baz ideyal pou sistèm transfè wafer. Nan anviwònman konplèks chanm pwòp semi-kondiktè yo, granit, ak koyefisyan ekspansyon tèmik ultra-ba li (sèlman 5-7 ×10⁻⁶/℃), ka reziste chalè ki pwodui pandan operasyon ekipman an ak enfliyans chanjman tanperati anviwònman an, sa ki asire estabilite gwosè baz la epi evite devyasyon chemen transmisyon ki koze pa defòmasyon tèmik. Pèfòmans eksepsyonèl li nan amortisman vibrasyon ka byen vit absòbe vibrasyon mekanik ki pwodui pandan demaraj, are ak akselerasyon motè lineyè yo, osi byen ke entèferans ekstèn ki pote pa operasyon lòt ekipman nan atelye a, sa ki bay yon platfòm ki estab ak "zero tranbleman" pou transmisyon wafer.
Pandanstan, estabilite chimik granit la asire ke li pa korode oswa wouye nan atelye semi-kondiktè kote reyaktif asid ak alkali yo temèt epi yo bezwen yon gwo pwòpte, kidonk evite enpak sou presizyon transmisyon akòz vyeyisman materyèl oswa absòpsyon polisyon. Karakteristik sifas lis ak dans yo ka pi efikasman diminye adezyon pousyè, satisfè estanda strik san pousyè nan chanm pwòp yo epi elimine risk kontaminasyon waf la depi nan rasin.
Efè "patenarya an lò" motè lineyè ak granit
Motè lineyè yo, ak karakteristik yo ki pa gen okenn espas transmisyon mekanik, gwo akselerasyon ak gwo vitès repons, bay transmisyon wafer la avantaj "rapid, egzat ak estabilite". Baz granit la bay yon platfòm sipò solid ak fyab pou li. De yo travay ansanm pou reyalize yon gwo so nan pèfòmans. Lè motè lineyè a kondwi sipò wafer la pou l woule sou ray baz granit la, gwo rijidite ak estabilite baz la asire transmisyon efikas fòs kondwi motè a, evite pèt fòs oswa reta transmisyon ki koze pa defòmasyon baz la.
Ankouraje pa demann pou presizyon nanoechèl, motè lineyè yo ka reyalize kontwòl deplasman sub-mikwon. Karakteristik pwosesis wo presizyon baz granit yo (ak erè planite kontwole nan ±1μm) matche parfe ak kontwòl presi motè lineyè yo, ansanm asire ke erè pozisyonman an pandan transmisyon wafer la mwens pase ±5μm. Kit se navèt gwo vitès ant divès ekipman pwosesis oswa pakin presi pou transfè wafer, konbinezon motè lineyè ak baz granit yo ka asire "zewo devyasyon ak zewo jitter" nan transmisyon wafer la.
Verifikasyon pratik endistri: Doub amelyorasyon nan efikasite ak to sede
Apre amelyorasyon sistèm transfè wafer li a, yon antrepriz semi-kondiktè dirijan mondyal te adopte yon solisyon motè lineyè + baz granit, ki te ogmante efikasite transfè wafer la pa 40%, redwi to ensidans fot tankou kolizyon ak offset pandan pwosesis transfè a pa 85%, epi amelyore to sede jeneral chip yo pa 6%. Dèyè done sa yo gen garanti estabilite transmisyon ki bay pa baz granit la ak efè sinèji gwo vitès ak presi motè lineyè a, ki diminye pèt ak erè nan pwosesis transmisyon wafer la anpil.
Soti nan pwopriyete materyèl rive nan fabrikasyon presizyon, soti nan avantaj pèfòmans rive nan verifikasyon pratik, konbinezon motè lineyè ak baz granit redefini estanda sistèm transfè wafer yo. Nan lavni, lè teknoloji semi-kondiktè yo avanse nan direksyon pwosesis 3nm ak 2nm, materyèl granit yo pral siman kontinye bay yon gwo impuls nan devlopman endistri a ak avantaj iranplasabl yo.
Dat piblikasyon: 14 Me 2025