Granit se yon eleman enpòtan nan plizyè aparèy semi-kondiktè. Kòm yon materyèl trè stab ak rijid, granit lajman itilize kòm yon baz pou ekipman pwosesis semi-kondiktè. Li karakterize pa koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba, estabilite dimansyonèl segondè, ak ekselan pwopriyete mekanik. Akòz pwopriyete sa yo, granit pi souvan itilize nan twa diferan kalite aparèy semi-kondiktè - ekipman metroloji, ekipman litografi, ak ekipman enspeksyon.
Ekipman metroloji yo itilize pou mezire epi detekte dimansyon kritik aparèy semi-kondiktè yo. Li jwe yon wòl enpòtan nan mentni kalite ak konsistans pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè a. Ekipman metroloji yo gen ladan enstriman tankou mikwoskòp optik, mikwoskòp elektwonik, ak mikwoskòp fòs atomik (AFM). Piske pèfòmans enstriman mezi sa yo depann de estabilite, presizyon, ak rezistans vibrasyon yo, granit se chwa ideyal la pou materyèl kabann yo. Inifòmite ak estabilite kabann granit la bay yon platfòm ki estab pou enstriman yo, sa ki amelyore presizyon ak fyab yo.
Yo itilize ekipman litografi pou fè modèl mikropous yo sou waf la. Pwosesis litografi a mande yon wo nivo presizyon ak egzaktitid pou kreye sikui konplèks epi amelyore pèfòmans chip la. Ekipman litografi a gen ladan sistèm stepper ak eskanè ki itilize limyè pou transfere imaj sou waf la. Kòm pwosesis litografi a trè sansib a vibrasyon ak chanjman tèmik, yon kabann kalite siperyè esansyèl pou asire estabilite ak repetabilite pwosesis litografi a. Kabann granit yo bay estabilite ki nesesè a ak pèfòmans rediksyon vibrasyon strik pou sistèm litografi yo. Kabann granit la pèmèt sistèm stepper la oswa eskanè a kenbe relasyon espasyal presi, sa ki asire yon gwo presizyon ak bon jan kalite pwodwi final la.
Ekipman enspeksyon yo itilize pou detekte nenpòt domaj nan aparèy semi-kondiktè yo. Ekipman enspeksyon yo gen ladan sistèm tankou mikwoskòp eskanè lazè, mikwoskòp elektwonik, ak mikwoskòp optik. Avèk nesesite pou aparèy sa yo trè presi, estab e reziste vibrasyon, kabann granit yo se materyèl pafè a. Pwopriyete mekanik granit ak estabilite dimansyonèl ede nan izolasyon vibrasyon, sa ki amelyore presizyon pwodiksyon ekipman enspeksyon an.
An konklizyon, kabann granit enpòtan anpil pou endistri semi-kondiktè a epi li lajman itilize nan diferan kalite ekipman. Pwopriyete inik li yo tankou estabilite dimansyonèl, koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba, ak ekselan estabilite mekanik fè granit chwa ideyal la kòm materyèl kabann ekipman semi-kondiktè. Kòm kabann granit kalite siperyè a bay estabilite, presizyon ak rezistans vibrasyon ki nesesè pou ekipman semi-kondiktè a, li finalman amelyore kalite pwodwi final la. Se poutèt sa, itilizasyon kabann granit nan ekipman semi-kondiktè a sèten pou kontinye pandan plizyè ane kap vini yo.
Dat piblikasyon: 3 avril 2024