Materyèl Granite yo lajman ki itilize nan endistri semi-conducteurs akòz karakteristik ekselan yo, tankou gwo estabilite, ba ekspansyon tèmik, ak gwo rezistans nan korozyon.Pwopriyete sa yo fè granit yon materyèl ideyal pou bati konpozan wo presizyon nan yon sistèm transfè wafer.
Nan pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs, sistèm transfè wafer la jwe yon wòl enpòtan nan transpòte wafers atravè diferan etap nan pwosesis fabrikasyon an.Presizyon ak presizyon se kondisyon esansyèl pou sistèm sa yo menm jan devyasyon menm ti ta ka mete an danje tout pwosesis la.Se poutèt sa, konpozan nan sistèm transfè wafer la dwe fèt ak bon jan kalite materyèl, ak granit satisfè kritè sa yo.
Gen kèk pati nan sistèm transfè wafer ki fèt ak materyèl granit yo enkli:
1. Vacuum Chuck Table
Se tab la vakyòm chuck itilize pou kenbe wafer la pandan pwosesis la, epi li dwe gen yon sifas ki estab asire ke wafer la pa domaje.Granite se yon materyèl ideyal pou fè tab sa a paske li gen yon sifas ki plat, ki pa pore ki bay gwo estabilite ak presizyon.Anplis de sa, granit gen yon koyefisyan ki ba nan ekspansyon tèmik, ki fè li rezistan a chanjman tanperati ki ta ka lakòz chanjman dimansyon nan wafer la.
2. Etap Air-Bearing
Se sèn nan lè-pote yo itilize pou transpòte wafer la atravè diferan etap nan pwosesis fabrikasyon an.Se sèn nan Enjenieri bay yon mouvman friksyon, ki mande pou segondè presizyon ak estabilite.Granite yo itilize nan aplikasyon sa a paske li se yon wòch rijid ak difisil, epi li reziste deformation ak mete sou tan.
3. Gid Mouvman Lineyè
Gid mouvman lineyè yo itilize pou gide etap lè a, epi yo dwe byen pozisyone pou minimize erè.Granite yo itilize pou konstwi gid sa a paske li gen ekselan estabilite mekanik ak fòs.Materyèl la tou reziste korozyon, ki asire lonjevite sistèm gid la.
4. Metroloji Ekipman
Yo itilize ekipman metroloji pou mezire dimansyon ak pwopriyete wafer la pandan pwosesis fabrikasyon an.Granite se yon materyèl ideyal pou bati ekipman sa a paske li gen gwo rèd, ekspansyon ki ba, ak deformation minim anba chaj.Anplis, estabilite tèmik granit la asire ke ekipman metroloji a rete estab ak egzat sou tan.
An konklizyon, endistri semi-conducteur a depann sou presizyon ak presizyon, ak materyèl granit yo te pwouve yo dwe trè serye ak ki estab nan pwosesis fabrikasyon an.Avèk anpil konpozan kritik nan sistèm transfè wafer ki mande estabilite segondè, presizyon, ak ba ekspansyon tèmik, enjenyè yo te tounen nan materyèl granit pou satisfè kondisyon kritik sa yo.
Tan pòs: Mar-19-2024