Platfòm presizyon granit yo, ak gwo rijidite yo, koyefisyan ekspansyon ki ba, pèfòmans tranpaj ekselan ak pwopriyete anti-mayetik natirèl yo, gen yon valè aplikasyon iranplasabl nan fabrikasyon wo nivo ak domèn rechèch syantifik kote presizyon ak estabilite yo trè egzijan. Men senaryo aplikasyon prensipal yo ak avantaj teknik yo:
I. Jaden ekipman pwosesis ultra-presizyon
Ekipman fabrikasyon semi-kondiktè
Senaryo aplikasyon: Tab pyès machin litografi, baz machin koupe wafer, platfòm pozisyon ekipman anbalaj.
Valè teknik:
Koyefisyan ekspansyon tèmik granit la se sèlman (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃, sa ki ka reziste varyasyon tanperati pandan ekspozisyon nanoscal machin litografi a (erè deplasman < 0.1nm nan yon anviwònman ±0.1℃).
Estrikti mikwo-pò entèn la fòme yon amortisman natirèl (rapò amortisman 0.05 a 0.1), li siprime vibrasyon an (anplitid < 2μm) pandan koupe gwo vitès pa machin koupe a epi li asire ke brutality kwen Ra nan koupe wafer la mwens pase 1μm.
2. Machin pou fanm k'ap pile presizyon ak machin pou mezire kowòdone (CMM)
Ka aplikasyon an:
Baz machin mezi twa kowòdone a adopte yon estrikti granit entegral, ak yon platitid ±0.5μm/m. Ansanm ak ray gid ki flote nan lè a, li reyalize yon presizyon mouvman nano-nivo (presizyon pozisyon repetitif ±0.1μm).
Tab travay machin pou fanm optik la adopte yon estrikti konpoze granit ak asye ajan. Lè w ap fanm vè K9, ondilasyon sifas la mwens pase λ/20 (λ=632.8nm), sa ki satisfè egzijans pwosesis ultra-lis pou lantiy lazè yo.
Ii. Domèn Optik ak Fotonik
Teleskòp astwonomik ak sistèm lazè
Aplikasyon tipik:
Platfòm sipò sifas refleksyon gwo teleskòp radyo a adopte yon estrikti myèl granit, ki lejè nan pwa pwòp tèt li (dansite 2.7g/cm³) epi ki gen yon gwo rezistans kont vibrasyon van (defòmasyon < 50μm anba yon van 10 nivo).
Platfòm optik entèferomèt lazè a itilize granit mikwo-pore. Reflektè a fiks pa adsorption vakyòm, ak yon erè planite mwens pase 5nm, ki asire estabilite eksperyans optik ultra-presizyon tankou deteksyon vag gravitasyonèl.
2. Pwosesis konpozan optik presizyon
Avantaj teknik:
Pèmeyabilite mayetik ak konduktivite elektrik platfòm granit la prèske zewo, sa ki evite enfliyans entèferans elektwomayetik sou pwosesis presizyon tankou polisaj gwo bout bwa iyon (IBF) ak polisaj mayetorheolojik (MRF). Valè presizyon PV fòm sifas lantiy asfik trete a ka rive nan λ/100.
Iii. Enspeksyon Ayewospasyal ak Presizyon
Platfòm enspeksyon konpozan aviyasyon
Senaryo aplikasyon: Enspeksyon twa dimansyon lam avyon, mezi tolerans fòm ak pozisyon konpozan estriktirèl alyaj aliminyòm aviyasyon.
Pèfòmans kle:
Sifas platfòm granit la trete pa korozyon elektwolitik pou fòme modèl amann (ak yon aspè brital Ra 0.4-0.8μm), apwopriye pou sond deklanche ki gen gwo presizyon, epi erè pou detekte pwofil lam la mwens pase 5μm.
Li ka sipòte yon chaj plis pase 200kg nan konpozan aviyasyon, epi chanjman platite a apre yon itilizasyon alontèm se mwens pase 2μm/m, satisfè egzijans antretyen presizyon Klas 10 nan endistri ayewospasyal la.
2. Kalibrasyon konpozan navigasyon inèsyèl yo
Kondisyon teknik: Kalibrasyon estatik aparèy inèsyèl tankou jiroskop ak akseleromèt mande yon platfòm referans ultra-stab.
Solisyon: Platfòm granit la konbine avèk yon sistèm izolasyon vibrasyon aktif (frekans natirèl < 1Hz), sa ki pèmèt yon kalibrasyon wo presizyon nan estabilite zewo-offset konpozan inèsyèl yo < 0.01°/h nan yon anviwònman ki gen akselerasyon vibrasyon < 1×10⁻⁴g.
Iv. Nanoteknoloji ak Byomedsin
Platfòm mikwoskòp sond eskanè (SPM)
Fonksyon prensipal: Kòm baz pou mikwoskòp fòs atomik (AFM) ak mikwoskòp tinèl optik (STM), li bezwen izole de vibrasyon anviwònman ak derive tèmik.
Endikatè pèfòmans:
Platfòm granit la, an konbinezon ak pye izolasyon vibrasyon pneumatik, ka diminye vitès transmisyon vibrasyon ekstèn yo (1-100Hz) a mwens pase 5%, sa ki pèmèt imaj AFM nan nivo atomik nan anviwònman atmosferik la (rezolisyon < 0.1nm).
Sansiblite tanperati a mwens pase 0.05μm/℃, ki satisfè egzijans pou obsèvasyon echantiyon byolojik nan yon echèl nano nan yon anviwònman tanperati konstan (37℃±0.1℃).
2. Ekipman anbalaj byochip
Ka aplikasyon: Platfòm aliyman wo presizyon pou chip sekans ADN yo adopte ray gid granit ki flote nan lè, ak yon presizyon pozisyonman ±0.5μm, ki asire yon lyezon sub-mikron ant kanal mikrofluidik la ak elektwòd deteksyon an.
V. Senaryo Aplikasyon Émergentes
Baz ekipman informatique kwantik
Defi teknik: Manipilasyon Qubit mande tanperati ki ba anpil (nivo mK) ak yon anviwònman mekanik ki ultra-stab.
Solisyon: Granit la gen yon ekspansyon tèmik ki ba anpil (vitès ekspansyon < 1ppm soti nan -200 ℃ rive nan tanperati chanm) epi li ka koresponn ak karakteristik kontraksyon leman suprakondiktè ki nan tanperati ultra ba, sa ki asire presizyon aliyman an pandan anbalaj chip kwantik yo.
2. Sistèm litografi gwo bout elektwon (EBL)
Pèfòmans kle: Pwopriyete izolasyon platfòm granit la (rezistivite > 10¹³Ω · m) anpeche dispèsyon gwo bout bwa elektwon yo. Ansanm ak kondwi aks elektwostatik la, li reyalize ekriti modèl litografi ak gwo presizyon ak yon lajè liy nanoechèl (< 10nm).
Rezime
Aplikasyon platfòm presizyon granit yo te pwolonje soti nan machin presizyon tradisyonèl yo rive nan domèn dènye kri tankou nanoteknoloji, fizik kwantik, ak byomedsin. Konpetitivite prensipal li chita nan koneksyon pwofon ant pwopriyete materyèl yo ak egzijans jeni yo. Nan lavni, avèk entegrasyon teknoloji ranfòsman konpoze (tankou nanokonpozit grafèn-granit) ak teknoloji deteksyon entelijan, platfòm granit yo pral kraze nan direksyon presizyon nivo atomik, estabilite tout tanperati a, ak entegrasyon milti-fonksyonèl, pou yo vin eleman debaz prensipal ki sipòte pwochen jenerasyon fabrikasyon ultra-presizyon an.
Dat piblikasyon: 28 me 2025