Nan domèn tankou fabrikasyon semi-kondiktè ak enstriman mezi presizyon, presizyon platfòm presizyon granit yo detèmine dirèkteman kalite operasyonèl ekipman an. Pou asire ke presizyon platfòm nan satisfè estanda yo, yo ta dwe fè efò sou de aspè: deteksyon endikatè kle yo ak konfòmite avèk nòm estanda yo.
Deteksyon endikatè debaz: Kontwòl presizyon miltidimansyonèl
Deteksyon planite: Detèmine "planite" plan referans lan
Planite se endikatè prensipal platfòm presizyon granit yo, epi anjeneral yo mezire li avèk entèferomèt lazè oswa nivo elektwonik. Entèferomèt lazè a ka mezire avèk presizyon ti ondilasyon sou sifas platfòm lan lè li emèt yon reyon lazè epi li itilize prensip entèferans limyè, avèk yon presizyon ki rive nan nivo sub-mikwon. Nivo elektwonik la mezire lè li deplase plizyè fwa epi li trase yon kat kontou twa dimansyon sou sifas platfòm lan pou detekte si gen nenpòt pwotizyon oswa depresyon lokal yo. Pa egzanp, platfòm granit yo itilize nan machin fotolitografi semi-kondiktè yo dwe gen yon planite ±0.5μm/m, sa vle di diferans wotè a nan yon longè 1 mèt pa ta dwe depase mwatye yon mikwomèt. Se sèlman atravè ekipman deteksyon wo presizyon ki ka asire estanda strik sa a.
2. Deteksyon dwatès: Asire "dwatès" mouvman lineyè a
Pou platfòm ki pote pyès k ap deplase avèk presizyon, dwatès la gen yon enpòtans vital. Metòd komen pou deteksyon yo se metòd fil la oswa kolimatè lazè a. Metòd fil la enplike sispann fil asye ki gen gwo presizyon epi konpare espas ki genyen ant sifas platfòm lan ak fil asye yo pou detèmine dwatès la. Kolimatè lazè a itilize karakteristik pwopagasyon lineyè lazè a pou detekte erè lineyè sifas enstalasyon ray gid platfòm lan. Si dwatès la pa satisfè estanda a, sa ap lakòz ekipman an deplase pandan mouvman an, sa ki afekte presizyon pwosesis la oswa mezi a.
3. Deteksyon sifas ki pa lis: Asire "fines" kontak la
Asperite sifas platfòm lan afekte anfòm enstalasyon konpozan yo. Anjeneral, yo itilize yon aparèy pou mezire asperite ak yon stylus oswa yon mikwoskòp optik pou deteksyon. Enstriman ki gen kalite stylus la anrejistre chanjman wotè pwofil mikwoskopik la lè li kontakte sifas platfòm lan ak yon sond byen file. Mikwoskòp optik yo ka obsève teksti sifas la dirèkteman. Nan aplikasyon ki mande anpil presizyon, yo bezwen kontwole asperite sifas platfòm granit yo nan Ra≤0.05μm, ki ekivalan a yon efè tankou yon glas, pou asire ke konpozan presizyon yo anfòm byen pandan enstalasyon an epi evite vibrasyon oswa deplasman ki koze pa espas vid.
Nòm presizyon yo swiv: nòm entènasyonal yo ak kontwòl entèn antrepriz la
Kounye a, sou plan entènasyonal, yo souvan itilize nòm ISO 25178 ak GB/T 24632 kòm baz pou detèmine presizyon platfòm granit yo, epi gen klasifikasyon klè pou endikatè tankou planite ak dwatè. Anplis de sa, antrepriz fabrikasyon wo nivo yo souvan mete nòm kontwòl entèn ki pi strik. Pa egzanp, egzijans planite pou platfòm granit machin fotolitografi a se 30% pi wo pase nòm entènasyonal la. Lè w ap fè tès yo, yo ta dwe konpare done mezire yo ak nòm korespondan yo. Se sèlman platfòm ki konfòm nèt ak nòm yo ki ka asire pèfòmans ki estab nan ekipman presizyon.
Enspekte presizyon platfòm presizyon granit yo se yon pwojè sistematik. Se sèlman lè yo teste endikatè debaz tankou plat, dwat, ak aspè sifas yo avèk presizyon, epi lè yo respekte estanda entènasyonal yo ak estanda antrepriz yo, ke yo ka garanti gwo presizyon ak fyab platfòm nan, epi mete yon fondasyon solid pou domèn fabrikasyon wo nivo tankou semi-kondiktè ak enstriman presizyon.
Dat piblikasyon: 21 me 2025