INan endistri fabrikasyon semi-kondiktè a, presizyon ekipman enspeksyon wafer enpòtan anpil pou asire kalite sikui entegre yo. Baz machin granit ki gen gwo presizyon, tankou sa yo ki bay pa ZHHIMG®, jwe yon wòl vital nan amelyore pèfòmans ekipman sa yo. Men kijan yo fè yon diferans.
Estabilite Dimansyonèl Eksepsyonèl Granit gen yon koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba anpil, anviwon (4–8)×10⁻⁶/℃, ki siyifikativman pi ba pase anpil metal. Nan anviwònman byen kontwole faktori semi-kondiktè yo, kote menm ti chanjman tanperati ka lakòz erè mezi, baz machin granit yo rete estab. Estabilite sa a asire ke pozisyon konpozan yo nan ekipman enspeksyon waf la rete egzat, sa ki anpeche nenpòt devyasyon pwovoke pa tèmik ki ta ka afekte presizyon rezilta enspeksyon yo.
Siperyè Amortisman Vibrasyon Planche pwodiksyon yo souvan ranpli ak vibrasyon ki soti nan divès sous. Pwopriyete amortisman natirèl granit la, ak yon rapò amortisman 0.05–0.1, absòbe epi disipe vibrasyon sa yo efektivman. Pou enspèksyon wafer
Pwojèksyon an, ki mande imaj wo rezolisyon ak lekti detèktè presi, rediksyon vibrasyon baz granit yo bay la gen anpil valè. Li minimize entèferans ki ta ka twoub imaj yo oswa defòme done detèktè yo, sa ki pèmèt ekipman an kaptire enfòmasyon klè ak egzak sou sifas waf la ak estrikti entèn li.
Gwo Rijidite ak Rezistans Mete Avèk yon dansite apeprè 3100 kg/m³, baz machin granit ZHHIMG® yo ofri yon rijidite remakab. Yo ka sipòte konpozan lou ekipman enspeksyon wafer san yo pa defòme, pou kenbe aliyman sistèm optik ak mekanik yo. Anplis de sa, gwo dite granit la (echèl Mohs 6-7) ak ekselan rezistans mete asire ke sifas baz machin nan rete plat ak lis sou tan. Konsistans sa a esansyèl pou presizyon alontèm, paske nenpòt mete oswa defòmasyon sou baz la ka piti piti degrade presizyon ekipman an.
Inètite ChimikFabrikasyon semi-kondiktè enplike ekspozisyon a divès pwodui chimik. Inètite chimik granit la fè li rezistan a korozyon ki soti nan sibstans sa yo. Pwopriyete sa a pwoteje entegrite baz machin nan, anpeche domaj pwovoke pa pwodui chimik ki ta ka afekte estabilite ak presizyon ekipman enspeksyon an.
An konklizyon, baz machin granit ki gen gwo presizyon yo pa sèlman yon eleman men yon eleman kle pou satisfè egzijans presizyon ekipman enspeksyon wafer yo. Lè w ap chwazi baz machin granit, chwazi founisè ou fè konfyans tankou ZHHIMG®. Avèk plizyè sètifikasyon ak yon angajman anvè kalite, ZHHIMG® asire ke chak baz machin granit bay fyab ak pèfòmans ki nesesè pou fabrikasyon semikondiktè avanse.
Dat piblikasyon: 3 jen 2025