Nan mond fabrikasyon semi-kondiktè a ki presi, tès ki pa destriktif sou waf yo se yon lyen kle pou asire kalite chip yo. Baz granit ki sanble ensiyifyan an se aktyèlman "ewo enkoni" ki detèmine presizyon deteksyon an. Ki jan li afekte rezilta tès yo? Atik sa a pral fè yon analiz apwofondi sou dimansyon tankou pwopriyete materyèl ak konsepsyon estriktirèl.
1. Fondasyon ki estab: Avantaj natirèl granit la mete yon fondasyon solid pou presizyon
1. Ekselan pèfòmans sismik
Pandan ekipman tès ki pa destriktif sou plak la ap fonksyone, wotasyon motè a ak mouvman konpozan mekanik yo ap jenere vibrasyon. Si vibrasyon sa yo pa siprime efektivman, y ap entèfere seryezman ak presizyon tès la. Enteryè granit la mele ak kristal mineral tankou kwats ak fèlspa. Estrikti inik li ba li yon kapasite absòpsyon vibrasyon natirèl, ki kapab absòbe plis pase 90% nan enèji vibrasyon ekipman an. Done mezi aktyèl yon manifakti semi-kondiktè montre ke apre yo fin itilize baz granit la, anplitid vibrasyon ekipman deteksyon an te redwi soti nan 12μm a 2μm, sa ki evite efektivman devyasyon siyal deteksyon an ki te koze pa vibrasyon.
2. Koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba anpil
Pandan pwosesis deteksyon an, faktè tankou chofaj ekipman ak chanjman nan tanperati anviwònman an ap afekte estabilite baz machin nan. Materyèl òdinè yo elaji anpil lè yo chofe, men koyefisyan ekspansyon tèmik granit la se sèlman 1/5 nan koyefisyan asye a. Menm si tanperati anbyen an varye pa 10 ℃, yo ka inyore defòmasyon li. Sa pèmèt baz granit la bay yon platfòm referans ki estab pou ekipman enspeksyon an, sa ki asire ke pozisyon relatif ant sond enspeksyon an ak waf la rete egzak tout tan epi evite erè enspeksyon ki koze pa defòmasyon tèmik.
Dezyèmman, konsepsyon presi: Optimizasyon estriktirèl la amelyore plis fyab deteksyon an.
Pwosesis ak gwo presizyon garanti ak planè
Baz granit kalite siperyè a trete pa teknoloji CNC senk aks avanse, ak yon planè ±0.5μm/m, ki bay yon referans enstalasyon ultra plat pou ekipman enspeksyon. Nan enspeksyon wafer, vètikalite ak nivelman sond enspeksyon an enpòtan anpil pou rezilta enspeksyon an. Yon baz granit gwo presizyon ka asire pozisyonman egzak sond lan, sa ki fè done enspeksyon yo pi egzak ak fyab.
2. Adaptasyon estriktirèl pèsonalize
Baz machin granit yo ka Customized pou diferan ekipman tès ki pa destriktif ak egzijans pwosesis. Pa egzanp, pou satisfè egzijans ekipman enspeksyon optik pou refleksyon limyè, sifas baz machin nan ka trete espesyalman; Pou satisfè egzijans enstalasyon ekipman tès ultrasons, baz la ka prefabrike ak twou enstalasyon presi ak plato kab, sa ki pèmèt enstalasyon rapid ak egzat ekipman an epi redwi devyasyon deteksyon ki koze pa erè enstalasyon.
Iii. Estabilite alontèm: Redui pèt presizyon ki koze pa antretyen ekipman yo
Granit gen yon dite ki wo ak yon gwo rezistans kont mete, ak yon dite Mohs de 6 a 7, ki se twa fwa rezistans kont mete asye òdinè. Pandan operasyon enspeksyon alontèm, sifas baz machin nan pa gen tandans pou mete epi li ka toujou kenbe yon bon eta presizyon. Okontrè, baz ki fèt ak lòt materyèl yo ka lakòz chanjman nan referans enstalasyon ekipman an akòz mete ak chire, kidonk afekte presizyon deteksyon an epi mande pou kalibrasyon ak antretyen souvan. Long lavi sèvis ak gwo estabilite baz granit la efektivman diminye frekans antretyen ekipman an epi diminye risk pèt presizyon ki ka rive pandan pwosesis antretyen an.
Depi rezistans chòk, rezistans chalè rive nan konsepsyon presi, chak karakteristik baz granit la pwoteje presizyon tès ki pa destriktif sou waf yo. Nan epòk fabrikasyon semikondiktè jodi a ki pouswiv presizyon maksimòm, chwazi yon baz granit kalite siperyè se tankou ajoute yon kouch solid asirans nan presizyon ak fyab rezilta tès yo.
Dat piblikasyon: 18 jen 2025