Nan laboratwa presizyon pou fabrikasyon chip, gen yon "ewo dèyè sèn" ki sanble pa remakab - baz machin granit la. Pa souzestime wòch sa a. Li se kle pou asire presizyon tès ki pa destriktif sou waf yo! Jodi a, ann gade kijan li kenbe ekipman deteksyon an toujou "orizontal ak vètikal".
1. Fèt ak yon "jèn ki estab"
Granit pa yon wòch òdinè. Estrikti entèn li tankou yon "devinèt mineral" byen kole youn ak lòt. Kwatz, fèlspa ak lòt kristal yo byen ranje, yo gen yon dansite trè wo e prèske pa gen vid. Sa a se menm jan ak bati yon kay ak beton ranfòse, ki solid e ki estab alafwa. Lè ekipman enspeksyon an "chita" sou li, menm si li peze plizyè tòn, defòmasyon baz granit la neglijab, sèlman yon dizyèm de sa asye a!
Sa ki pi enpresyonan an se ke li prèske pa pè chanjman tanperati. Materyèl metal òdinè yo gen tandans "elaji epi pran pwa" lè yo chofe epi "kontraksyon epi vin pi mens" lè yo refwadi. Sepandan, granit la sanble gen yon "majik tanperati konstan". Lè tanperati a varye pa 1 ℃, ekspansyon ak kontraksyon li se sèlman yon milyèm de sa yon cheve imen. Li enpòtan pou note ke menm si gen yon ti chanjman nan tanperati laboratwa tès la, baz granit la ka sipòte ekipman an byen fèm epi anpeche nivo a "devye".
Dezyèmman, teknik pwosesis "detay dyabolik" yo
Pou fè baz granit la pi presi, enjenyè yo te itilize "teknoloji nwa" pou pwosesis la. Imajine w ap poli wòch yo ak "super papye sab" ki fèt ak dyaman - se konsa yon machin pou file senk aks fonksyone. Li pral file sifas granit la pou l pi plat pase yon glas an twa etap:
Broyaj brit: Premyèman, retire tach sifas wòch la epi kontwole platite a rive nan yon venyèm cheve.
Broyaj semi-fin: Plis rafinman, ak platite a ogmante a yon senkantyèm nan yon cheve imen.
Broyaj byen file: Finalman, li poli ak poud broyaj ultra-fin, pou rive nan yon plat ki egal a yon milyèm cheve! Nan pwen sa a, sifas baz granit la tankou yon "etap orizontal" ki fèt espesyalman pou ekipman enspeksyon an.
Gen kèk montur wo nivo ki gen yon "sèvo entelijan" tou - nivo presizyon entegre a tankou yon "ti gad" ki an sèvis 24 sou 24. Yon fwa li detekte ke ekipman an panche pa 0.01 degre (yon ang ki pi piti pase pwent yon plim), aparèy idwolik la pral aktive imedyatman epi "dwatize" ekipman an nan 30 segonn.
Twazyèmman, yon konsepsyon enjenyeu amelyore estabilite plis toujou
Enjenyè yo te fouye tèt yo tou sou estrikti baz machin nan. Anba a fèt an yon fòm siwo myèl egzagonal, menm jan ak yon ruch myèl, ki pa sèlman diminye pwa a men tou distribye presyon an respire. Lè sond deteksyon an deplase sou waf la, defòmasyon an nan chak pwen baz la prèske egzakteman menm jan an, sa ki asire ke referans orizontal la rete estab tout tan.
Sa ki pi etonan ankò se ke yon "absòbe chòk envizib" - yon absòbe chòk seramik pyezoelektrik - enstale ant baz la ak tè a. Li ka kaptire divès vibrasyon ki sòti nan 1 a 1000Hz tankou yon rada epi li emèt vag envès imedyatman pou "konbat" entèferans lan. Pa egzanp, vibrasyon ki pwodui pa operasyon machin ki akote yo oswa soukous machin k ap pase deyò yo tout "initil" devan li.
Done yo pale poukont yo: Ki jan efè a puisan?
Nan aplikasyon pratik, pèfòmans baz granit la vrèman etonan:
Enspeksyon optik: Presizyon pou idantifye domaj sifas sou wafer yo amelyore soti nan 3 mikron pou rive nan 1 mikron (1 mikron = yon swasantyèm cheve).
Tès ultrason: Erè nan mezire epesè wafer la te redwi pa twa ka.
Itilizasyon alontèm: Apre yon ane operasyon kontinyèl, chanjman nan nivelman an prèske neglijab, alòske baz machin òdinè yo gen lontan "koube".
Soti nan avantaj materyèl natirèl yo rive nan pwosesis presi ak konsepsyon inovatè, baz granit la pwouve ak "fòs" li ke si ou vle detekte bato avèk presizyon, wòch sa a vrèman endispansab!
Dat piblikasyon: 18 jen 2025