Nan domèn enspeksyon waf semi-kondiktè yo, pite anviwònman chanm pwòp la gen yon rapò dirèk ak rannman pwodwi a. Pandan presizyon pwosesis fabrikasyon chip yo ap kontinye amelyore, egzijans pou platfòm sipò ekipman deteksyon yo ap vin pi strik. Platfòm granit yo, ak karakteristik yo ki pa lage iyon metal epi ki pa gen anpil polisyon patikil, depase materyèl asye pur tradisyonèl yo epi yo vin solisyon pi pito pou ekipman enspeksyon waf yo.
Granit se yon wòch igne natirèl ki konpoze sitou de mineral ki pa metalik tankou kwatz, fèlspa ak mika. Karakteristik sa a ba li avantaj ke li pa lage okenn iyon metal. Okontrè, asye pur, kòm yon alyaj metal tankou fè, chromium ak nikèl, gen tandans pou korozyon elektwochimik sou sifas li akòz ewozyon vapè dlo ak gaz asid oswa alkalin nan yon anviwònman chanm pwòp, sa ki lakòz presipitasyon iyon metal tankou Fe²⁺ ak Cr³⁺. Yon fwa ti iyon sa yo tache ak sifas waf la, yo pral chanje pwopriyete elektrik materyèl semi-kondiktè a nan pwosesis ki vin apre tankou fotolitografi ak grave, lakòz derive vòltaj papòt tranzistò a, e menm mennen nan kous kout nan sikwi a. Done tès enstitisyon pwofesyonèl yo montre ke apre platfòm granit la te ekspoze kontinyèlman a yon anviwònman tanperati ak imidite chanm pwòp simile (23±0.5℃, 45%±5% RH) pandan 1000 èdtan, liberasyon iyon metal yo te pi ba pase limit deteksyon an (<0.1ppb). Pousantaj domaj nan wafer ki koze pa kontaminasyon iyon metal lè w ap itilize platfòm asye pur ka rive jiska 15% a 20%.
An tèm de kontwòl kontaminasyon patikil, platfòm granit yo tou pèfòme eksepsyonèlman byen. Chanm pwòp yo gen egzijans trè wo pou konsantrasyon patikil sispann nan lè a. Pa egzanp, nan chanm pwòp ISO Klas 1 yo, kantite patikil 0.1μm ki otorize pou chak mèt kib pa depase 10. Menm si platfòm asye pur la te sibi tretman polisaj, li ka toujou pwodui debri metal oswa kal oksid ki kale akòz fòs ekstèn tankou vibrasyon ekipman ak operasyon pèsonèl, ki ka entèfere ak chemen optik deteksyon an oswa grate sifas waf la. Platfòm granit yo, ak estrikti mineral dans yo (dansite ≥2.7g/cm³) ak gwo dite (6-7 sou echèl Mohs la), pa gen tandans pou mete oswa kraze pandan itilizasyon alontèm. Mezi yo montre ke yo ka diminye konsantrasyon patikil sispann nan lè a nan zòn ekipman deteksyon an pa plis pase 40% konpare ak platfòm asye pur yo, efektivman kenbe estanda klas chanm pwòp yo.
Anplis karakteristik pwòpte li yo, pèfòmans konplè platfòm granit yo depase byen lwen pèfòmans asye pur la. An tèm de estabilite tèmik, koyefisyan ekspansyon tèmik li a se sèlman (4-8) ×10⁻⁶/℃, mwens pase mwatye koyefisyan asye pur la (anviwon 17×10⁻⁶/℃), sa ki ka pi byen kenbe presizyon pozisyon ekipman deteksyon an lè tanperati a nan chanm pwòp la varye. Karakteristik amortisman segondè a (rapò amortisman > 0.05) ka rapidman diminye vibrasyon ekipman an epi anpeche sond deteksyon an tranble. Rezistans natirèl korozyon li pèmèt li rete estab menm lè li ekspoze a solvang fotorezist, gaz grave ak lòt pwodui chimik san li pa bezwen yon pwoteksyon kouch adisyonèl.
Kounye a, platfòm granit yo lajman itilize nan plant fabrikasyon wafer avanse. Done yo montre ke apre yo fin adopte platfòm granit la, pousantaj move jijman nan deteksyon patikil sifas wafer la diminye de 60%, sik kalibrasyon ekipman an te pwolonje pa twa fwa, epi pri pwodiksyon an jeneral te bese de 25%. Pandan endistri semi-kondiktè a ap deplase nan direksyon pou yon pi gwo presizyon, platfòm granit yo, ak avantaj prensipal yo tankou zewo liberasyon iyon metal ak polisyon patikil ki ba, ap kontinye bay yon sipò ki estab ak serye pou enspeksyon wafer, epi vin tounen yon fòs enpòtan k ap kondwi pwogrè endistri a.
Dat piblikasyon: 20 me 2025