Nan atelye fabrikasyon semi-kondiktè a, egzijans pwosesis fabrikasyon chip la anrapò ak kondisyon anviwònman ak presizyon ekipman yo ekstrèm, epi nenpòt ti devyasyon ka mennen nan yon bès siyifikatif nan sede chip la. Platfòm mouvman gantry presizyon XYZT a konte sou konpozan granit pou kolabore ak lòt pati nan platfòm la pou konstwi yon fondasyon solid pou reyalize presizyon nan nanoskal.
Ekselan pwopriyete bloke Vibration
Nan atelye fabrikasyon semi-kondiktè a, operasyon ekipman periferik yo ak pèsonèl k ap mache ka lakòz vibrasyon. Estrikti entèn konpozan granit yo dans e inifòm, ak karakteristik natirèl amortisman wo, tankou yon "baryè" vibrasyon efikas. Lè vibrasyon ekstèn lan transmèt sou platfòm XYZT a, konpozan granit lan ka efektivman diminye plis pase 80% nan enèji vibrasyon an epi redwi entèferans vibrasyon sou presizyon mouvman platfòm lan. An menm tan, platfòm lan ekipe ak yon sistèm gid flote lè wo presizyon, ki travay ansanm ak konpozan granit yo. Gid flote lè a itilize fim gaz ki estab ki fòme pa gaz wo presyon pou reyalize mouvman sispansyon san kontak nan pati k ap deplase platfòm lan epi redwi ti vibrasyon ki koze pa friksyon mekanik. Ansanm, de bagay sa yo asire ke presizyon pozisyon platfòm lan toujou kenbe nan nivo nanomèt nan pwosesis kle tankou litografi chip ak grave, epi evite devyasyon modèl sikwi chip ki koze pa vibrasyon.
Ekselan estabilite tèmik
Varyasyon tanperati ak imidite nan atelye a gen yon gwo enfliyans sou presizyon ekipman fabrikasyon chip. Koyefisyan ekspansyon tèmik granit la trè ba, jeneralman nan 5-7 ×10⁻⁶/℃, gwosè a prèske pa chanje lè tanperati a chanje. Menm si diferans tanperati ant lajounen ak lannwit nan atelye a oswa pwodiksyon chalè ekipman an lakòz tanperati anbyen an varye, konpozan granit yo ka rete estab pou anpeche platfòm la defòme akòz ekspansyon ak kontraksyon tèmik. An menm tan, sistèm kontwòl tanperati entelijan ki ekipe ak platfòm la kontwole tanperati anbyen an an tan reyèl, ajiste otomatikman ekipman èkondisyone ak disipasyon chalè a, epi kenbe tanperati atelye a nan 20 ° C ±1 ° C. Konbine avèk avantaj estabilite chalè granit la, asire ke platfòm la nan operasyon alontèm, presizyon mouvman chak aks toujou satisfè estanda presizyon nanomèt fabrikasyon chip, pou asire ke gwosè modèl litografi chip la egzak, pwofondè grave a inifòm.
Satisfè bezwen anviwònman pwòp la
Atelye fabrikasyon semi-kondiktè a bezwen kenbe yon wo nivo pwòpte pou anpeche patikil pousyè yo kontamine chip la. Materyèl granit la li menm pa pwodui pousyè, epi sifas la lis, li pa fasil pou absòbe pousyè. Platfòm nan an antye adopte yon konsepsyon estrikti konplètman fèmen oswa semi-fèmen pou diminye antre pousyè ekstèn. Sistèm sikilasyon lè entèn lan lye ak sistèm èkondisyone pwòp atelye a pou asire ke pwòpte lè entèn la rive nan nivo fabrikasyon chip la mande. Nan anviwònman pwòp sa a, konpozan granit yo pa pral afekte pèfòmans lan akòz ewozyon pousyè, epi konpozan kle tankou detèktè ak motè presizyon segondè nan platfòm la kapab tou fonksyone yon fason ki estab, bay yon garanti presizyon nanoscal kontinyèl ak serye pou fabrikasyon chip, epi ede endistri semi-kondiktè a deplase nan yon nivo pwosesis ki pi wo.
Dat piblikasyon: 14 avril 2025