Nan fabrikasyon semi-kondiktè, machin fotolitografi a se yon aparèy kle ki detèmine presizyon chip yo, epi baz granit la, ak plizyè karakteristik li yo, vin tounen yon eleman endispansab nan machin fotolitografi a.
Estabilite tèmik: "Pwoteksyon" kont chanjman tanperati
Lè yon machin fotolitografi ap fonksyone, li pwodui yon gwo kantite chalè. Menm yon varyasyon tanperati ki sèlman 0.1℃ ka lakòz defòmasyon nan konpozan ekipman yo epi afekte presizyon fotolitografi a. Koyefisyan ekspansyon tèmik granit la trè ba, sèlman 4-8 ×10⁻⁶/℃, ki se apeprè 1/3 nan koyefisyan asye a ak 1/5 nan koyefisyan alyaj aliminyòm nan. Sa pèmèt baz granit la kenbe estabilite dimansyonèl lè machin fotolitografi a ap fonksyone pou yon bon bout tan oswa lè tanperati anviwònman an chanje, sa ki asire pozisyonman egzak konpozan optik yo ak estrikti mekanik yo.
Super pèfòmans anti-vibrasyon: "Eponj" ki absòbe vibrasyon an
Nan yon faktori semi-kondiktè, operasyon ekipman ki antoure yo ak mouvman moun yo ka jenere vibrasyon. Granit gen yon dansite wo ak yon teksti di, epi li gen ekselan pwopriyete amortisman, ak yon rapò amortisman 2 a 5 fwa sa metal yo. Lè vibrasyon ekstèn yo transmèt nan baz granit la, friksyon ant kristal mineral entèn yo konvèti enèji vibrasyon an an enèji chalè pou disipasyon, sa ki ka diminye vibrasyon an anpil nan yon ti tan, sa ki pèmèt machin fotolitografi a retabli estabilite byen vit epi evite flou oswa move aliyman nan modèl fotolitografi a akòz vibrasyon.
Estabilite chimik: "Gadyen" yon anviwònman pwòp
Enteryè yon machin fotolitografi antre an kontak ak divès kalite pwodui chimik, epi materyèl metal òdinè yo gen tandans pou korozyon oswa pou yo lage patikil. Granit la konpoze de mineral tankou kwatz ak fèlspa. Li gen pwopriyete chimik ki estab epi li gen yon gwo rezistans korozyon. Apre li fin tranpe nan solisyon asid ak alkali, korozyon sifas la piti anpil. Pandansetan, estrikti dans li prèske pa pwodui debri oswa pousyè, sa ki satisfè egzijans ki pi wo nan estanda chanm pwòp yo epi diminye risk kontaminasyon waf yo.
Adaptabilite pwosesis: "Materyèl ideyal la" pou kreye referans presi
Konpozan prensipal machin fotolitografi a bezwen enstale sou yon sifas referans ki gen gwo presizyon. Estrikti entèn granit la inifòm epi li fasil pou trete avèk yon presizyon ekstrèmman wo atravè fanm, polisaj ak lòt teknik. Planite li ka rive nan ≤0.5μm/m, epi sifas ki graj Ra a se ≤0.05μm, sa ki bay yon baz enstalasyon presi pou konpozan tankou lantiy optik.
Long dire lavi epi san antretyen: "Zouti byen file" pou rediksyon pri
Konpare ak materyèl metal ki gen tandans fatige ak fann apre yon itilizasyon alontèm, granit diman sibi defòmasyon plastik oswa ka zo kase anba chaj nòmal, epi li pa bezwen tretman sifas, kidonk evite risk pou kouch la kale ak kontaminasyon. Nan aplikasyon pratik, apre plizyè ane itilizasyon, endikatè pèfòmans kle baz granit la ka toujou rete estab, sa ki diminye depans operasyon ak antretyen ekipman an.
Soti nan estabilite tèmik, rezistans vibrasyon rive nan inerti chimik, plizyè karakteristik baz granit la satisfè parfe egzijans machin fotolitografi a. Pandan pwosesis fabrikasyon chip la ap kontinye devlope nan direksyon pi gwo presizyon, baz granit yo ap kontinye jwe yon wòl iranplasabl nan domèn fabrikasyon semikondiktè.
Dat piblikasyon: 20 me 2025