Nan domèn fabrikasyon semi-kondiktè, kòm ekipman prensipal ki detèmine presizyon pwosesis fabrikasyon chip la, estabilite anviwònman entèn machin fotolitografi a gen yon enpòtans vital. Depi eksitasyon sous limyè iltravyolèt ekstrèm nan rive nan fonksyònman platfòm mouvman presizyon nanoechèl la, pa ka gen okenn ti devyasyon nan chak lyen. Baz granit yo, ak yon seri pwopriyete inik, demontre avantaj san parèy nan asire fonksyònman ki estab nan machin fotolitografi yo ak amelyore presizyon fotolitografi.
Eksepsyonèl pèfòmans pwoteksyon elektwomayetik
Enteryè yon machin fotolitografi ranpli ak yon anviwònman elektwomayetik konplèks. Entèferans elektwomayetik (EMI) ki pwodui pa konpozan tankou sous limyè iltravyolèt ekstrèm, motè kondwi, ak ekipman pouvwa wo frekans, si yo pa kontwole li efektivman, pral afekte seryezman pèfòmans konpozan elektwonik presizyon ak sistèm optik ki nan ekipman an. Pa egzanp, entèferans ka lakòz ti devyasyon nan modèl fotolitografi yo. Nan pwosesis fabrikasyon avanse, sa sifi pou mennen nan koneksyon tranzistò ki pa kòrèk sou chip la, sa ki diminye anpil rannman chip la.
Granit se yon materyèl ki pa metalik epi li pa kondui elektrisite poukont li. Pa gen okenn fenomèn endiksyon elektwomayetik ki koze pa mouvman elektwon lib anndan an tankou nan materyèl metalik yo. Karakteristik sa a fè li yon kò pwoteksyon elektwomayetik natirèl, ki ka bloke efektivman chemen transmisyon entèferans elektwomayetik entèn yo. Lè chan mayetik altènatif ki pwodui pa sous entèferans elektwomayetik ekstèn lan gaye nan baz granit la, piske granit la pa mayetik epi li pa ka mayetize, chan mayetik altènatif la difisil pou penetre, kidonk pwoteje konpozan prensipal machin fotolitografi ki enstale sou baz la, tankou detèktè presizyon ak aparèy ajisteman lantiy optik, kont enfliyans entèferans elektwomayetik epi asire presizyon transfè modèl pandan pwosesis fotolitografi a.
Ekselan konpatibilite vakyòm
Piske tout sibstans, tankou lè a, absòbe limyè iltravyolèt ekstrèm (EUV) fasilman, machin litografi EUV yo dwe opere nan yon anviwònman vakyòm. Nan pwen sa a, konpatibilite konpozan ekipman yo ak anviwònman vakyòm nan vin patikilyèman enpòtan. Nan yon vid, materyèl yo ka fonn, desorbe epi lage gaz. Gaz ki lage a pa sèlman absòbe limyè EUV, sa ki diminye entansite ak efikasite transmisyon limyè a, men li ka kontamine lantiy optik yo tou. Pa egzanp, vapè dlo ka okside lantiy yo, epi idrokarbur ka depoze kouch kabòn sou lantiy yo, sa ki afekte seryezman kalite litografi a.
Granit gen pwopriyete chimik ki estab epi li diman lage gaz nan yon anviwònman vakyòm. Dapre tès pwofesyonèl yo, nan yon anviwònman vakyòm machin fotolitografi simile (tankou anviwònman vakyòm ultra pwòp kote sistèm optik ekleraj la ak sistèm optik imaj la nan chanm prensipal la ye a, ki mande H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), to degazaj baz granit la trè ba, byen pi ba pase lòt materyèl tankou metal yo. Sa pèmèt enteryè machin fotolitografi a kenbe yon degre vakyòm ak pwòpte ki wo pou yon tan long, sa ki asire yon transmisyon limyè EUV ki wo pandan transmisyon an ak yon anviwònman itilizasyon ultra pwòp pou lantiy optik yo, sa ki pwolonje lavi sèvis sistèm optik la, epi amelyore pèfòmans jeneral machin fotolitografi a.
Bon rezistans Vibration ak estabilite tèmik
Pandan pwosesis fotolitografi a, presizyon nan nivo nanomèt la egzije pou machin fotolitografi a pa dwe gen okenn vibrasyon oswa defòmasyon tèmik. Vibrasyon anviwònman ki pwodui pa operasyon lòt ekipman ak mouvman pèsonèl nan atelye a, ansanm ak chalè ki pwodui pa machin fotolitografi a li menm pandan operasyon, tout ka entèfere ak presizyon fotolitografi a. Granit la gen yon dansite segondè ak yon teksti di, epi li gen yon ekselan rezistans a vibrasyon. Estrikti kristal mineral entèn li an kontra enfòmèl ant, sa ki ka efektivman diminye enèji vibrasyon an epi rapidman siprime pwopagasyon vibrasyon an. Done eksperimantal yo montre ke anba menm sous vibrasyon an, baz granit la ka diminye anplitid vibrasyon an plis pase 90% nan 0.5 segonn. Konpare ak baz metal la, li ka retabli ekipman an nan estabilite pi vit, asire pozisyon relatif egzak ant lantiy fotolitografi a ak waf la, epi evite flou modèl oswa move aliyman ki koze pa vibrasyon.
Pandanstan, koyefisyan ekspansyon tèmik granit la trè ba, apeprè (4-8) ×10⁻⁶/℃, ki pi ba anpil pase sa materyèl metalik yo. Pandan machin fotolitografi a ap fonksyone, menm si tanperati entèn la varye akòz faktè tankou jenerasyon chalè ki soti nan sous limyè a ak friksyon ki soti nan konpozan mekanik yo, baz granit la ka kenbe estabilite dimansyonèl epi li pa pral sibi defòmasyon siyifikatif akòz ekspansyon ak kontraksyon tèmik. Li bay yon sipò ki estab ak serye pou sistèm optik la ak platfòm mouvman presizyon an, kenbe konsistans presizyon fotolitografi a.
Dat piblikasyon: 20 me 2025