Nan domèn fabrikasyon wo nivo ak rechèch syantifik dènye kri, modil mouvman ultra-presizyon flote lè a vin tounen yon ekipman kle pou operasyon ak mezi presi ak pèfòmans presizyon ekselan li yo. Baz presizyon granit la, kòm nwayo sipò a, gen egzijans strik pou anviwònman travay la, epi kondisyon anviwònman apwopriye yo se baz pou asire pèfòmans ki estab li ak pi bon efè a.
Premyèman, kontwòl tanperati: "estabilizasyon" presizyon
Malgre ke granit li te ye pou estabilite li, li pa konplètman iminize kont chanjman tanperati. Malgre ke koyefisyan ekspansyon tèmik li ba, jeneralman 5-7 ×10⁻⁶/℃, nan senaryo kontwòl mouvman ultra-presizyon, ti chanjman tanperati yo ka toujou lakòz chanjman dimansyonèl epi afekte presizyon modil la. Nan atelye fabrikasyon chip semi-kondiktè a, pwosesis litografi a mande yon presizyon pozisyonman nivo danami, epi tanperati anbyen an varye pa 1 ° C, epi baz granit ki gen yon longè bò 1 mèt ka pwodui yon ekspansyon oswa kontraksyon lineyè 5-7 mikron. Ti chanjman sa a transmèt pa modil mouvman ultra-presizyon flote lè a, ki ase pou fè modèl litografi chip la devye epi redwi anpil sede a. Se poutèt sa, ekipe ak yon baz presizyon granit nan modil mouvman ultra-presizyon k ap flote nan lè a, tanperati anviwònman travay ideyal la ta dwe kontwole a 20 ° C ± 1 ° C, avèk èd ekipman tanperati konstan wo-presizyon, tankou sistèm èkondisyone tanperati ak imidite konstan, siveyans kontinyèl ak ajisteman tanperati anbyen an, pou asire ke varyasyon tanperati yo nan yon seri trè piti, kenbe estabilite gwosè baz la, pou asire ke modil la ap opere wo-presizyon.
Dezyèmman, jesyon imidite: kle pou pwoteksyon kont imidite "wòch"
Imidite se yon lòt faktè enpòtan ki afekte pèfòmans baz granit presizyon an. Nan yon anviwònman ki gen anpil imidite, granit fasil pou absòbe vapè dlo, sa ki ka lakòz kondansasyon sou sifas la, ki pa sèlman afekte estabilite koneksyon granit la ak modil mouvman ultra-presizyon flotè lè a, men tou, li ka lakòz ewozyon sifas epi diminye briyans ak presizyon alontèm. Nan atelye fanm k'ap pile lantiy optik la, si imidite a pi wo pase 60% RH pandan yon bon bout tan, vapè dlo ki absòbe sou sifas baz granit la ap entèfere ak mouvman glisè flotè gaz la, sa ki diminye presizyon fanm k'ap pile lantiy la, epi sifas la vin defektye. Se poutèt sa, imidite relatif anviwònman travay la ta dwe kontwole estrikteman ant 40%-60% RH, ki ka kontwole ak ajiste an tan reyèl lè w enstale dezumidifikatè, detèktè imidite ak lòt ekipman pou evite domaj nan baz granit la akòz imidite ki wo, epi asire bon fonksyònman modil mouvman ultra-presizyon flotè lè a.
Twazyèmman, garanti pwòpte: "gadyen" presizyon an
Nou pa dwe sousestime domaj patikil pousyè yo fè sou baz granit presizyon modil mouvman ultra-presizyon flotasyon lè a. Yon fwa ti patikil yo antre nan espas fim gaz ki genyen ant glisè flote gaz la ak baz granit la, yo ka detwi inifòmite fim gaz la, ogmante friksyon, e menm grate sifas baz la, sa ki lakòz yon rediksyon nan presizyon mouvman an. Nan atelye machinasyon ultra-presizyon pyès ayewospasyal yo, si patikil pousyè ki nan lè a tonbe sou baz granit la, trajektwa mouvman zouti machinasyon an ka devye, sa ki afekte presizyon machinasyon pyès yo. Se poutèt sa, zòn travay la ta dwe rete trè pwòp, rive nan nivo pwòpte 10,000 oswa menm pi wo, atravè enstalasyon ekipman pou pirifye lè, tankou filtè lè efikasite segondè (HEPA), filtre patikil pousyè ki nan lè a, an menm tan, anplwaye yo bezwen mete rad ki pa gen pousyè, kouvri soulye, elatriye, pou diminye pousyè moun pote a. Kenbe yon anviwònman operasyon wo presizyon pou baz granit la ak modil mouvman ultra-presizyon flote lè a.
Kat, izolasyon Vibration: operasyon lis nan "kousen chòk" la
Vibrasyon ekstèn lan se lènmi presizyon modil mouvman ultra-presizyon flotè lè a. Malgre ke baz granit presizyon an gen yon sèten kapasite pou diminye vibrasyon, vibrasyon wo fòs la ka toujou kraze limit tanpon li. Vibrasyon ki pwodui pa trafik ki antoure faktori a ak operasyon gwo ekipman mekanik yo transmèt nan baz granit lan atravè tè a, sa ki pral entèfere ak presizyon mouvman modil mouvman ultra-presizyon flotè lè a. Nan CMM wo nivo, vibrasyon ka lakòz kontak ant sond mezi a ak pyès ki dwe mezire a vin enstab, sa ki lakòz devyasyon done mezi yo. Pou rezoud pwoblèm sa a, li nesesè pou adopte mezi izolasyon vibrasyon efikas, tankou mete kousinen izolasyon vibrasyon nan zòn enstalasyon ekipman an, bati fondasyon izolasyon vibrasyon, oswa itilize yon sistèm izolasyon vibrasyon aktif pou konpanse vibrasyon ekstèn aktivman, epi kreye yon anviwònman travay trankil ak ki estab pou baz granit presizyon an ak modil mouvman ultra-presizyon flotè lè a.
Se sèlman lè li satisfè nèt egzijans anviwònman yo an tèm de tanperati, imidite, pwòpte ak kontwòl Vibration, baz presizyon granit modil mouvman ultra-presizyon flote lè a ka bay tout avantaj pèfòmans li yo, bay yon garanti serye pou operasyon ultra-presizyon nan divès domèn, epi ede endistri a avanse nan direksyon yon nivo fabrikasyon presizyon ak rechèch syantifik ki pi wo.
Dat piblikasyon: 8 avril 2025