Nan domèn fabrikasyon presizyon ak rechèch syantifik, platè platfòm presizyon granit yo se yon endikatè kle pou asire presizyon ekipman yo. Sa ki anba la a se yon entwodiksyon detaye sou plizyè metòd deteksyon endikap ak pwosedi operasyon yo pou ou.
I. Metòd deteksyon entèferomèt lazè
Entèferomèt lazè a se zouti ki pi pito pou deteksyon planite ak gwo presizyon. Pran entèferomèt lazè ZYGO GPI XP a kòm egzanp, rezolisyon li ka rive nan 0.1nm. Lè w ap fè deteksyon an, premyèman aliyen sous limyè entèferomèt la ak platfòm la epi divize sifas platfòm la an zòn kadriyaj 50mm × 50mm. Apre sa, done franj entèferans yo te kolekte pwen pa pwen, epi done yo te ajiste epi analize lè l sèvi avèk polinòm Zernike a pou jwenn erè planite a. Metòd sa a aplikab a platfòm ki gen gwo presizyon epi li ka detekte erè planite ≤0.5μm/m². Li souvan itilize nan deteksyon machin fotolitografi ak platfòm machin mezi twa kowòdone wo nivo.
Ii. Metòd Nivo Elektwonik
Deteksyon nivo elektwonik la fasil pou itilize epi li trè efikas. Yo te chwazi nivo elektwonik TESA A2 a (ak yon rezolisyon 0.01μm/m) epi yo te ranje l nan yon etalaj 9×9 sou direksyon aks X/Y platfòm lan. Lè yo kolekte done enklinasyon chak nivo an menm tan epi yo itilize metòd moind kare a pou kalkil la, yo ka jwenn valè planite a avèk presizyon. Metòd sa a ka idantifye kondisyon konkavite ak konveksite lokal platfòm lan avèk efikasite. Pa egzanp, yo ka detekte tou yon varyasyon 0.2μm nan yon ranje 50mm, ki apwopriye pou deteksyon rapid nan pwodiksyon an mas.
Iii. Metòd kristal plat optik
Metòd kristal plat optik la apwopriye pou deteksyon platfòm ki gen ti sifas. Kole kristal plat optik la byen sere sou sifas platfòm lan pou teste a epi obsève franj entèferans ki fòme ant yo anba ekleraj yon sous limyè monokromatik (tankou yon lanp sodyòm). Si bann yo se bann dwat paralèl, sa endike yon bon planite. Si bann koube parèt, kalkile erè planite a ki baze sou degre koube bann lan. Chak bann koube reprezante yon diferans wotè 0.316μm, epi done planite yo ka jwenn atravè yon konvèsyon senp.
Kat. Metòd enspeksyon machin mezi twa kowòdone
Machin mezi twa kowòdone a ka reyalize mezi presizyon segondè nan espas twa dimansyon. Mete platfòm granit la sou tab travay machin mezi a epi sèvi ak sond lan pou kolekte done inifòmman soti nan plizyè pwen mezi sou sifas platfòm lan. Sistèm machin mezi a trete epi analize done sa yo pou jenere yon rapò sou planite platfòm lan. Metòd sa a pa sèlman ka detekte planite, men tou jwenn lòt paramèt jeyometrik platfòm lan an menm tan, epi li apwopriye pou deteksyon konplè gwo platfòm granit.
Metrize metòd deteksyon sa yo ka ede ou evalye avèk presizyon si platfòm presizyon granit la plat epi bay yon garanti serye pou fonksyònman ki estab nan ekipman presizyon an.
Dat piblikasyon: 29 me 2025