Revolisyon Presizyon nan fabrikasyon semikondiktè: Lè granit rankontre teknoloji mikron
1.1 Dekouvèt inatandi nan syans materyèl yo
Selon rapò SEMI International Semiconductor Association 2023 la, 63% nan faktori avanse nan mond lan te kòmanse itilize baz granit olye de platfòm metal tradisyonèl yo. Wòch natirèl sa a, ki soti nan kondansasyon magma byen fon nan Latè a, ap reekri istwa fabrikasyon semi-kondiktè akòz pwopriyete fizik inik li yo:
Avantaj inèsi tèmik: koyefisyan ekspansyon tèmik granit 4.5 × 10⁻⁶/℃ la se sèlman 1/5 nan koyefisyan asye pur la, epi estabilite dimansyon ±0.001mm la konsève pandan travay kontinyèl machin litografi a.
Karakteristik amortisman Vibration: koyefisyan friksyon entèn lan 15 fwa pi wo pase sa ki nan fè jete, sa ki absòbe mikwo-vibration ekipman yo efektivman.
Zewo mayetizasyon nati: elimine nèt erè mayetik nan mezi lazè
1.2 Vwayaj metamòfoz la soti nan min rive nan faktori
Si nou pran baz pwodiksyon entelijan ZHHIMG nan Shandong kòm egzanp, yon moso granit kri bezwen sibi:
Machinasyon ultra-presizyon: sant machinasyon senk aks pou 200 èdtan fraisaj kontinyèl, ak yon sifas ki graj jiska Ra0.008μm
Tretman atifisyèl pou vyeyisman: 48 èdtan liberasyon estrès natirèl nan atelye tanperati ak imidite konstan, sa ki amelyore estabilite pwodwi a pa 40%.
Dezyèmman, rezoud sis pwoblèm presizyon nan fabrikasyon semi-kondiktè "solisyon wòch" la.
2.1 Plan rediksyon to fragmentasyon wafer la
Demonstrasyon ka: Apre yon fondri chip nan Almay adopte platfòm granit k ap flote gaz nou an:
| Dyamèt wafer la | rediksyon pousantaj chip | amelyorasyon planite |
| 12 pous | 67% | ≤0.001mm |
| 18 pous | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Konplo pou amelyore presizyon aliyman litografik la
Sistèm konpansasyon tanperati: yon detèktè seramik entegre kontwole varyab fòm nan an tan reyèl epi ajiste enklinasyon platfòm lan otomatikman.
Done mezire: anba yon varyasyon 28 ℃ ± 5 ℃, presizyon entegrasyon an varye mwens pase 0.12 μm
Dat piblikasyon: 24 Mas 2025