Nan endistri semi-kondiktè a, kote "nanomèt" se inite mezi estanda a, entegrite estriktirèl ekipman yo pa negosyab. Pandan nœud chip yo ap diminye rive nan 5nm ak plis, demann pou rediksyon vibrasyon ak estabilite tèmik rive nan nivo ekstrèm. Konpozan granit presizyon yo te chanje soti nan yon opsyon wo nivo pou vin "ADN" esansyèl nan pyès ki nan konpitè fabrikasyon semi-kondiktè.
Kòm yon founisè dirijan nan estrikti ekipman ki gen gwo estabilite, ZHHIMG® analize uit aplikasyon ki pi kritik kote granit se ewo silansyeuz nan fabrikasyon an.
1. Baz machin litografi
Machin litografi a se ekipman ki pi konplèks nan chèn semi-kondiktè a. Baz la dwe sipòte sistèm optik masif pandan l ap rete parfe kanpe. Dansite segondè granit la ak amortisman entèn li pèmèt li absòbe mikwo-vibrasyon ki soti nan anviwònman an, sa ki asire sous limyè a rete aliyen nan nivo atomik la.
2. Etap Mouvman Kousinen Lè a
Transpò waf gwo vitès mande pou mouvman san friksyon. Paske granit ka sipèpoze jiskaske li plat anba mikwon, li sèvi kòm patnè pafè pou teknoloji kousinen lè a. "Kousen lè" a glise sou sifas granit la san okenn usure, sa ki bay mouvman ultra-lis ki nesesè pou eskane ak pozisyonman.
3. Platfòm Enspeksyon Wafer ak Metroloji
Apre yo fin grave plak yo, yo dwe enspekte plak yo pou wè si yo gen domaj. Nenpòt ekspansyon tèmik nan ankadreman machin nan ta ka lakòz yon "fo pozitif" oswa yon domaj ki pa parèt.Konpozan granit presizyonbay yon anviwònman inaktif tèmik, pou asire ke done enspeksyon yo se yon refleksyon reyèl sou sifas wafer la, pa deformation machin nan.
4. Sistèm Mouvman Gantry (Estrikti Pon)
Nan koupe an ti moso oswa koneksyon ak fil elektrik ki fèt ak gwo vitès, "pon" an oswa gantri a dwe deplase rapidman san li pa tranble. Yon gantri granit ofri yon rapò rèd-mas siperyè konpare ak fè fonn, sa ki diminye anpil "tan sedimantasyon"—tan yon machin dwe tann pou vibrasyon yo sispann anvan li ka fè pwochen travay li a.
5. Ankadreman Ekipman Reparasyon Lazè
Lè yo jwenn yon domaj sou yon mask oswa yon waf, yo itilize lazè pou reparasyon presizyon. Sa mande yon fondasyon estriktirèl ki konplètman pa mayetik e ki pa kondiktif. Granit se yon izolan natirèl, sa anpeche entèferans elektwomayetik afekte chemen lazè delika a.
6. CMM (Machin Mezire Kowòdone) pou Sal Blan
Kontwòl kalite nan etablisman semi-kondiktè a mande CMM ki ka reziste pwotokòl sal pwòp strik yo. Kontrèman ak metal, ki ka lage patikil oswa okside, granit reziste asid epi li pa rouye, sa ki kenbe yon estrikti ekipman ki trè estabilite san li pa kontamine anviwònman an.
7. Baz pou polisaj chimik mekanik (CMP)
Pwosesis CMP a enplike labou ak ajan chimik ki trè koroziv pou metal yo. Rezistans chimik natirèl granit la fè li materyèl ideyal pou baz estriktirèl inite polisaj yo, sa ki asire yon lavi sèvis ki long menm nan anviwònman chimik ki difisil.
8. Sistèm Enplantasyon Ion
Anviwònman ki gen gwo vòltaj nan aparèy pou enplante iyon yo mande konpozan ki pa pral entèfere ak gwo bout bwa iyon yo oswa kreye ark elektrik. Pwopriyete dyelèktrik Granite a fè li yon chwa ki an sekirite epi ki estab pou monte konpozan elektrik ak vakyòm sansib.
Poukisa ZHHIMG® pou enfrastrikti semi-kondiktè?
Nan ZHHIMG®, nou konprann ke yon baz ekipman semi-kondiktè se plis pase yon senp moso wòch—se yon enstriman kalibre. Granit nwa espesyalize nou an, konbine avèk plis pase 30 ane ekspètiz nou nan fanm k'ap pile manyèl, pèmèt nou reyalize klas planite ak paralelis ki satisfè egzijans rijid epòk sub-mikwon an.
-
Materyèl: Granit nwa ZHHIMG® ki gen gwo dansite, grenn ultra-fin.
-
Presizyon: Klas presizyon dapre DIN 876 Klas 00 oswa espesifikasyon JIS/ASME koutim.
-
Pèsonalizasyon: Foure entegre, fant T, ak ray kousinen lè pre-enstale nan atelye 10,000m² nou yo ki fonksyone a tanperati konstan.
Lè pòs la: 18 Mas 2026